特許権 膜厚検出方法 パナソニック株式会社 早田博, 大熊崇文, 山下英毅, 寺内正治 出願番号 特願2004-47865 出願日 2004年2月24日 公開番号 特開2005-241282 公開日 2005年9月8日 特許番号/登録番号 特許第4830260号 登録日 2011年9月30日 発行日 出願国 国内 取得国 国内
