産業財産権

特許権

スパッタリング装置

松下電器産業株式会社
  • 中嶋誠二
    • ,
  • 末次大輔
    • ,
  • 大熊崇文
    • ,
  • 山本憲一
    • ,
  • 東田隆亮
    • ,
  • 西原宗和
    • ,
  • 村嶋祐二
出願番号
特願2002-182893
出願日
2002年6月24日
公開番号
特開2004-31493
公開日
2004年1月29日
特許番号/登録番号
特許第3887582号
登録日
2006年12月1日
発行日
出願国
国内
取得国
国内
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