高橋哲 (Satoru Takahashi) - マイポータル - researchmap

基本情報

所属: 東京大学大学院工学系研究科精密工学専攻教授

学位: 博士（工学）(大阪大学)

研究者番号: 30283724
J-GLOBAL ID: 201301078932798140
researchmap会員ID: B000227957

外部リンク: http://kaken.nii.ac.jp/d/r/30283724.ja.html

研究キーワード

15

研究分野

5

経歴

7

2023年4月 - 現在

東京大学, 大学院工学系研究科, 教授
2014年4月 - 2023年3月

東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授
2013年6月 - 2014年3月

東京大学, 大学院工学系研究科, 教授
2003年1月 - 2013年6月

東京大学, 大学院工学系研究科, 准教授（助教授）
2011年5月 - 2012年2月

トロント大学, 客員教授
2002年10月 - 2002年12月

大阪大学大学院工学研究科, 講師
1996年4月 - 2002年10月

大阪大学, 工学部, 助手

主要な委員歴

22

2020年8月 - 現在

The International Academy for Production Engineering（CIRP）, Fellow
2019年12月 - 現在

The European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen), National Heat Organiser (euspen talent programme)
2018年4月 - 現在

International Journal of Precision Engineering and Manufacturing, Editorial Board
2018年3月 - 現在

Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology, Board Member
2017年12月 - 現在

International Journal of Nanomanufacturing and Metrology, Editorial Board
2016年4月 - 現在

一般社団法人日本機械学会 Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing (JAMDSM), アソシエイトエディタ
2011年3月 - 現在

公益社団法人精密工学会, 超精密加工専門委員会幹事
2006年6月 - 現在

公益社団法人精密工学会知的ナノ計測専門委員会, 幹事
2021年2月 - 2024年4月

Journal of the International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology, Associate Editor
2020年3月 - 2022年3月

公益社団法人精密工学会, 執行理事事業部会長
2020年10月 - 2021年11月

一般社団法人日本機械学会 International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21), オーガナイザー
2019年12月 - 2020年12月

公益社団法人精密工学会 18th International Conference on Precision Engineering (ICPE2020), オーガナイザー
2018年3月 - 2020年3月

公益社団法人精密工学会, 理事事業部会国際交流委員長
2017年11月 - 2019年11月

International Conference of ASPEN 2019, Organizing Committee Chair
2017年11月 - 2019年11月

International Conference of ASPEN 2019, Chief Conference Secretary

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受賞

38

2023年11月

Best Paper Award, A Novel Single-Microparticle Total Analysis System Driven by Optical Tweezers, ASPEN2023

Ryohei Omine, Yushen Liu, Shuzo Masui, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata, Satoru Takahashi
2023年11月

Best Paper Award, Fabrication of Functional Surface using Water Jet Guided Laser Processing: Characteristics of Surface Structuring by Underwater Processing, ASPEN2023

Mayuko Osawa, Shoichi Ui, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata and Satoru Takahashi
2023年9月

Best Paper Award, In-process Observation of Physical Phenomena Inside the Workpiece Processed by Water Jet Guided Laser, ISMTII2023

Shoichi Ui, Mayuko Osawa, Ryota Washio, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata, Satoru Takahashi
2023年9月

Best Paper Award, Super-resolution Imaging of Sub-diffraction-limited Pattern with Superlens based on Deep Learning, ISMTII2023

Yizhao Guan, Shuzo Masui, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata, Satoru Takahashi
2022年11月

Best Paper Award, ASPEN2022
2022年8月

Fellow, ISNM（International Society for Nanomanufacturing）
2022年1月

Excellent Editor Award, Nanomanufacturing and Metrology - the Journal of the International Society for Nanomanufacturing

Satoru Takahashi
2022年1月

Excellent Article Award, Nanomanufacturing and Metrology - the Journal of the International Society for Nanomanufacturing
2020年8月

Fellow, CIRP（The International Academy for Production Engineering：国際生産工学アカデミー）

S. Takahashi
2019年11月

Best Paper Award, ASPEN2019
2019年3月

Highlighted by Advances In Engineering
2019年3月

第15回精密工学会論文賞, 精密工学会
2018年11月

Best Paper Award, ICPE2018
2018年10月

優秀講演論文表彰, 日本機械学会機械加工・工作機械部門
2017年9月

Best Paper Award 2017, ISMTII2017
2015年10月

Certificate of Merit for Outstanding Presentation, LEM2015
2014年9月

Excellent Paper Award, 11th IMEKO Symposium LMPMI2014
2013年11月

Certificate of Merit for Outstanding Presentation, LEM2013

高橋哲
2012年3月

第28回精密工学会沼田記念論文賞, 精密工学会

高橋哲
2010年9月

Outstanding Paper Award, ISMQC2010

高橋哲

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論文

274

Fluorescence-Based Calibration Model for In-Situ Measurement of Micro-scaled Lubricant Thickness Distribution at Indentation Interface

Motoya Yoshikawa, Saeko Fujii, Shotaro Kadoya, Tatsuya Sugihara, Masaki Michihata, Satoru Takahashi

Nanomanufacturing and Metrology 7(1) 2024年12月
Concept of error compensation for non-orthogonality in two-axis displacement measurement system utilizing single grating scale and Littrow configuration

Masaki Michihata, Souki Fujimura, Shuzo Masui, Satoru Takahashi

Journal of Manufacturing Science and Engineering 1-26 2024年7月19日
Advanced Sensing and Machine Learning Technologies for Intelligent Measurement in Smart and Precision Manufacturing

Ryo Sato, Kuangyi Li, Masaki Michihata, Satoru Takahashi, Wei Gao

International Journal of Automation Technology 18(4) 545-580 2024年7月5日
Longitudinal Mode Number Estimation of External Cavity Diode Laser Using Dual Periodic Grating for Optical Profiler System

Masaki Michihata, Shuhei Goda, Shuzo Masui, Satoru Takahashi

Sensors 24(12) 3821-3821 2024年6月13日
Manipulation of large, irregular-shape particles using contour-tracking optical tweezers

Ryohei Omine, Shuzo Masui, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata, Satoru Takahashi

Optics Letters 49(10) 2773-2773 2024年5月13日
Diameter Measurement for Micro-Spheres via Coherent Scanning Interferometry with Reference to Gauge Block

Masaki Michihata, Shotaro Kadoya, Satoru Takahashi

International Journal of Automation Technology 18(1) 11-17 2024年1月5日
In-situ measurement of thickness distribution of fluid at the interface of tool and workpiece via fluorescence

Masaki Michihata, Saeko Fujii, Motoya Yoshikawa, Shotaro Kadoya, Tatsuya Sugihara, Satoru Takahashi

CIRP Annals 73(1) 405-408 2024年1月
Developmental framework of line edge roughness reference standards for next-generation functional micro-/nanostructures

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda, Satoru Takahashi

Precision Engineering 83 152-158 2023年9月
Effect of white noise on roughness measurements of self-affine fractals

Ryosuke Kizu, Ichiko Misumi, Akiko Hirai, Satoshi Gonda, Satoru Takahashi

Measurement Science and Technology 34(10) 105003-105003 2023年7月3日
Theoretical analysis on coherent optical super-resolution method for inspection of functional micro-structured surfaces with complex-amplitude-response distribution

Hiromasa Kume, Masaki Michihata, Satoru Takahashi

Precision Engineering 80 138-159 2023年3月
Novel absolute length measurement method for etalon sensor using optical comb pulsed interference and harmonic etalon reflections

Shusei Masuda, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata, Satoru Takahashi

Measurement Science and Technology 34(5) 055205-055205 2023年2月15日
Smart optical measurement probe for autonomously detecting nano-defects on bare semiconductor wafer surface: highly sensitive observation system using phase-contrast microscopy with a spatial light modulator

Yizhao Guan, Shuzo Masui, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata, Satoru Takahashi

Journal of Physics: Conference Series 2368(1) 012014-012014 2022年11月1日
Measurement properties of electric field intensity distribution of whispering gallery mode with near-field optical probe

Yushen Liu, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata, Satoru Takahashi

Measurement Science and Technology 2022年5月30日
The FDTD Analysis of Near-Field Response for Microgroove Structure With Standing Wave Illumination for the Realization of Coherent Structured Illumination Microscopy

Yizhao Guan, Hiromasa Kume, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata, Satoru Takahashi

Journal of Manufacturing Science and Engineering 144(3) 2022年3月1日
Measurement of diameter of sub-micrometer fiber based on analysis of scattered light intensity distribution under standing wave illumination

Masaki Michihata, Sojiro Murakami, Shotaro Kadoya, Satoru Takahashi

CIRP Annals 2022年
Interferometer adopting a ball lens both as a beam collimator and a reflector

Tatsuya Kume, Hiromasa Yasuda, Tsutomu Mibe, Masaki Michihata, Satoru Takahashi

Measurement: Sensors 18 100161-100161 2021年12月
Absolute distance measurement in water by optical comb for in-process meaurement of water-guided laser processing

Shusei Masuda, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata, Satoru Takahashi

Measurement: Sensors 18 100221-100221 2021年12月
In-process diameter measurement technique for nano/micro-optical fiber with standing wave illumination -evaluation of measurement performance

Sojiro Murakami, Masaki Michihata, Shotaro Kadoya, Satoru Takahashi

Measurement: Sensors 18 100185-100185 2021年12月
The FDTD analysis for dark field in-process depth measurements of fine microgrooves

Yizhao Guan, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata, Satoru Takahashi

Measurement: Sensors 18 100257-100257 2021年12月
High-accuracy error-reduction method for 3D complex shape measurement with local-maximum-power-based technique of FMCW

Tatsuo Hariyama, Kenji Maruno, Masahiro Watanabe, Satoru Takahashi

Precision Engineering 72 69-82 2021年11月

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MISC

378

レーザ加工マルチスケール表面微細構造の光散乱解析

後藤隼, 畚野剛瑠, 増井周造, 門屋祥太郎, 道畑正岐, 高橋哲

光学シンポジウム講演予稿集(CD-ROM) 47th 2022年
レーザ加工マルチスケール表面微細構造の光学的インプロセス計測-光学応答解析に基づく形状計測手法の提案-

後藤隼, 畚野剛瑠, 増井周造, 門屋祥太郎, 道畑正岐, 高橋哲

精密工学会大会学術講演会講演論文集(CD-ROM) 2022 2022年
二重周期回折格子を用いたExternal Cavity Diode Laser(ECDL)の高精度共振器長計測

合田周平, 増井周造, 門屋祥太郎, 道畑正岐, 高橋哲

光学シンポジウム講演予稿集(CD-ROM) 46th 2021年
導波モード共振を用いたサブ波長格子偏光ビームスプリッタ

増井周造, 門屋祥太郎, 道畑正岐, 高橋哲

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 68th 2021年
精密工学におけるナノ・マイクロ光学技術とその展望

高橋哲

精密工学会誌 87(9) 2021年
定在波照明における微細開口の近接場光応答解析（第2報）:溝深さと近接場位相の関係

管⼀兆, 久⽶大将, 門屋祥太郎, 道畑正岐, ⾼橋哲

精密工学会学術講演会講演論文集 2021 577-578 2021年
Precision measurement in heisei: A review -development of optical measurement supporting nano/Micro Manufacturing-

Satoru Takahashi

Seimitsu Kogaku Kaishi/Journal of the Japan Society for Precision Engineering 86(1) 8-12 2020年
階層型微細機能構造創製に関する研究（第2報）:インプロセス干渉縞計測による多重干渉リソグラフィーの露光制御

増井周造, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

精密工学会学術講演会講演論文集 2020 17-18 2020年
階層型微細機能構造創製に関する研究（第1報）:多重定在波照明露光構造の光学特性の理論解析

畚野剛瑠, 増井周造, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

精密工学会学術講演会講演論文集 2020 3-4 2020年
光共振損失を用いたSPMプローブチップのオンマシン評価に関する研究

津田信道, 儲博懐, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

精密工学会学術講演会講演論文集 2020 582-583 2020年
自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究（第8報）:位相利用高感度観察装置によるSiウェハ上の微小異物検出

小田桐央拓, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

精密工学会学術講演会講演論文集 2020 580-581 2020年
微細構造基板を利⽤した超解像イメージングに関する研究（第2報）:ディープラーニングによる再構成能力の評価

市川廉, 久米大将, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲, 西川正俊

精密工学会学術講演会講演論文集 2020 574-575 2020年
定在波照明を用いたマイクロ光ファイバのインプロセス直径計測（第2報）:測定精度改善の検討

船岩大輝, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

精密工学会学術講演会講演論文集 2020 621-621 2020年
パルス干渉を用いたエタロン光学長の高精度計測:温度特性の評価

増田秀征, 高村智彦, 高橋哲, 松本弘一, 高増潔

精密工学会学術講演会講演論文集 2020 632-633 2020年
定在波照明を用いた表面微細加工構造の長作動距離超解像欠陥検査

久米大将, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

精密工学会学術講演会講演論文集 2020 628-628 2020年
光放射圧ポテンシャルに基づく3次元微細構造加工に関する基礎的研究（第3報）:ハイスピードカメラによる加工原理の検討

代慶真, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

精密工学会学術講演会講演論文集 2020 99-100 2020年
局在光制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究（第5報）:マイクロレジンの空間位置制御によるマイクロ粒子アセンブリ

福井健太, 増井周造, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

精密工学会学術講演会講演論文集 2020 802-803 2020年
エバネッセント光干渉リソグラフィーを用いたナノ・マイクロ構造の一括造形

増井周造, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

光学シンポジウム講演予稿集 44th 2019年
ディープラーニングによるBlind-SIM再構成処理

小野拓也, 久米大将, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

精密工学会学術講演会講演論文集 2019 908-909 2019年
パルス干渉に基づく多辺測長レーザトラッキングシステムの開発:第三報トラッカのデザインの評価

増田秀征, 中島瞳, 高村智彦, 高橋哲, 松本弘一, 高増潔

精密工学会学術講演会講演論文集 2019 927-928 2019年

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書籍等出版物

12

ナノ異物欠陥の高分解能・高感度・光学的計測法開発の最新動向

トライボロジスト, 2022, 67 巻, 11 号 2022年11月
エバネッセント局在フォトンを用いたナノ造形技術の開発

光アライアンス2022年7月号 2022年7月
精密工学会誌特集：微細領域の光学技術

高橋哲 (担当:分担執筆, 範囲:精密工学におけるナノ・マイクロ光学技術とその展望、精密工学会誌 87(9) 2021年715-720)

公益社団法人精密工学会 2021年9月
OplusE 2020年11・12月号(第476号)

高橋哲 (担当:分担執筆, 範囲:回折限界を超えた表面微細周期構造の光学式非破壊深さ計測手法)

アドコム・メディア株式会社 2020年11月
計量計測 Measureing Instruments はかる

高橋哲 (担当:分担執筆, 範囲:New Technology「ナノ・マイクロものづくりを支える光計測の発展と可能性」)

一般社団法人日本計量機器工業連合会 2020年7月15日
異物の分析、検出事例集

高橋哲 (担当:分担執筆, 範囲:第４章第５節基板上ナノ異物を高感度，高速，非破壊的に検出する方法)

技術情報協会 2020年1月31日 (ISBN: 9784861047732)
精密工学会誌新年特集号（平成の精密工学を振り返る～令和での発展に向けて～）

高橋哲 (担当:分担執筆, 範囲:平成の精密計測を振り返る～ナノ・マイクロものづくりを支える光計測の発展～)

公益社団法人精密工学会 2020年1月
Metrology. Precision Manufacturing, Gao W. (eds)

高橋哲 (担当:分担執筆, 範囲:In-Process Measurement of Subwavelength Structures.)

Springer, Singapore 2019年8月 (ISBN: 9789811049378)
Micro and Nano Fabrication Technology. Micro/Nano Technologies, vol 1., Yan J. (eds)

高橋哲 (担当:分担執筆, 範囲:3D Microfabrication Using Photocatalytic Reaction.)

Springer, Singapore 2018年4月 (ISBN: 9789811065880)
ナノ・マイクロスケール機械工学

高橋哲, 石原直, 光石衛, 渡邉聡, 加藤千幸 (担当:分担執筆)

東京大学出版会 2014年3月 (ISBN: 4130628364)
ナノイメージング

高橋哲 (担当:分担執筆)

エヌ・ティー・エス 2008年6月 (ISBN: 4860431537)
図解砥粒加工技術のすべて

高橋哲, 砥粒加工学会 (担当:分担執筆)

工業調査会 2006年8月 (ISBN: 4769321813)

講演・口頭発表等

47

Challenge of advanced optical technology beyond the diffraction limit for nano/micro manufacturing

Satoru Takahashi

【基調講演】CJUMP2023 : The CHINA-JAPAN International Conference on Ultra-Precision Machining Process 2023 2023年10月23日招待有り
Super Resolution Optical Measurement for Functional Microstructures beyond the Diffraction Limit

Satoru Takahashi

【招待講演】ISMTII2023 2023年9月19日招待有り
先進的光制御で実現するナノ・マイクロ製造の最前線

【基調講演】令和4年度近畿工業高等学校長協会研究協議会 2022年7月28日招待有り
回折限界以下の微細溝の光学的非破壊深さ計測

【招待講演】第31回三次元工学シンポジウム「三次元工学の新潮流」 2021年12月1日招待有り
Challenge of nano optical technology beyond the diffraction limit for nano/micro manufacturing

Satoru Takahashi

【招待講演】nanoMan2020: 7th International Conference on Nanomanufacturing 2021年11月19日招待有り
エバネッセント波制御によるナノ・マイクロ光造形

高橋哲

【招待講演】2020年度フォトニクス技術フォーラム第5回研究会「光による微細加工技術」 2021年3月23日招待有り
Nano Optical Measurement for Next-Generation Nano/Micro Manufacturing based on Localized Light Energy Control

高橋哲

【招待講演】SPIE OPIC OPTM2020 : SPIE Conferences at Optics & Photonics International Congress 2020 Optical Technology and Measurement for Industrial Applications http://dx.doi.org/10.1117/12.2574755 2020年4月21日招待有り
光を用いた情報取得と微小欠陥センシング

高橋哲

【招待講演】日本計量機器工業連合会 2019年度新技術導入・活用研究会〜最新のセンシング技術とデバイス開発〜 2020年2月14日招待有り
ナノマイクロものづくりのための光分解能限界の超越

高橋哲

【招待講演】第131回将来技術研究会 2019年12月14日招待有り
New developments on micro/nano manufacturing science based on evanescent light

Satoru Takahashi

【招待講演】IMCC2017 2017年11月招待有り
New developments for next-generation precision engineering opened with localized light energy control

Satoru Takahashi

【基調講演】ASPEN2017 2017年11月招待有り
High sensitive and super resolution optical inspection of nanodefects on Si wafer surface using infrared standing evanescent wave

Satoru Takahashi

【招待講演】 ISMTII2017 2017年9月招待有り
Challenge of Evanescent Light Exposing Micro-stereolithography,

高橋哲

【招待講演】JSAP-OSA Joint Symposia 2016 2016年9月14日招待有り
マイクロ・ナノ製造のための光エネルギー援用加工計測技術

高橋哲

【招待講演】電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ・システムナノ技術に関する時限研究専門委員会（IEICE Technical Committee on System NanoTechnology）・第4回研究会 2016年6月17日招待有り
光でめざすものづくり〜回折限界超越への挑戦〜，

高橋哲

【基調講演】東大駒場リサーチキャンパス公開2016・オープニングセレモニー講演 2016年6月3日招待有り
構造照明シフトによる超解像光学式欠陥計測技術の開発，

高橋哲

【招待講演】精密工学会超精密位置決め専門委員会第110回定例会講演 2016年4月15日招待有り
Advanced optical inspection for engineering surface beyond the diffraction limit

高橋哲

【招待講演】The UT-NTU Conference at Tokyo 2015 "Emerging Technology Development of Material-Mechanics-Robotics" 2015年12月9日招待有り
半導体製造におけるナノ欠陥の高分解能・高感度・光学的計測法

高橋哲

【招待講演】精密工学会プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会第145回研究会「半導体基板洗浄技術と関連計測技術の最前線」 2015年10月30日招待有り
光計測

高橋哲

【招待講演】自動車技術会公開委員会「加工・計測技術の基本と最新技術」自動車技術会 2015年9月29日招待有り
超高分解能顕微技術

高橋哲

【招待講演】光センシング技術部会2015年度第2回講演会「光波を用いたセンシング技術、ナノからサブナノへ向かう光計測技術及び生体計測」 2015年9月11日招待有り

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所属学協会

9

- 現在

CIRP
- 現在

european Society for Precision Engineering and Nanotechnology
- 現在

American Society for Precision Engineering
- 現在

砥粒加工学会
- 現在

日本機械学会
- 現在

精密工学会
- 現在

日本オプトメカトロニクス協会
- 現在

International Society for Nanomanufacturing
- 現在

Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology

共同研究・競争的資金等の研究課題

35

複合物理融合メカニズム解明に基づいたウォータガイドレーザ加工法の科学的機能革新による次世代パワー半導体ダイシングの実現

科学技術振興機構研究成果展開事業研究成果最適展開支援プログラム A-STEP産学共同（本格型） 2023年10月 - 2028年3月
計測標準と情報科学を援用した先端精密計測の卓越進化：10nm 超解像光学ルーペの開発

科学技術振興機構戦略的創造研究推進事業（CREST） 2022年10月 - 2028年3月
3次元空間座標基準モニタリングによる内面構造のナノスケール精度計測

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2023年4月 - 2026年3月

道畑正岐, 高橋哲, 門屋祥太郎
次世代機能デバイス実現のための高品位・超高アスペクト比微細穴加工システムの開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 基盤研究(B) 2022年4月 - 2025年3月

高橋哲, 門屋祥太郎, 道畑正岐
破壊的干渉照明を用いた次世代極細光ファイバ直径のナノ精度計測原理の確立

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的研究(萌芽) 2022年6月 - 2024年3月

道畑正岐, 高橋哲, 門屋祥太郎
1nm表面異物欠陥の自律探索を実現する動的位相差検出型・近接場液相プローブ計測法

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的研究(萌芽) 挑戦的研究(萌芽) 2021年7月 - 2023年3月

高橋哲
質量標準トレーサビリティ体系のための超高精度・広範囲なシリコン球体計測

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 基盤研究(B) 2020年4月 - 2023年3月

道畑正岐, 高橋哲, 門屋祥太郎
動的位相同期制御による局在光場を用いた次世代微細機能構造のナノ欠陥超解像計測

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 基盤研究(B) 2019年4月 - 2022年3月

高橋哲, 道畑正岐, 門屋祥太郎
空間局在光場並列制御によるナノ除去加工分解能・新概念光励起加工法の挑戦

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的研究(萌芽) 挑戦的研究(萌芽) 2019年6月 - 2021年3月

高橋哲, 道畑正岐, 西川正俊
微小球共振原理を用いたマイクロスケール3次元形状標準計測の原理確立への挑戦

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的研究(萌芽) 挑戦的研究(萌芽) 2018年6月 - 2020年3月

道畑正岐, 高橋哲
複合マイクロ粒子機能構造体生産のための局在光制御セルインマイクロファクトリの開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 基盤研究(A) 2015年4月 - 2019年3月

高橋哲, 高増潔, 道畑正岐
次世代三次元形状の高精度化のための三次元計測における不確かさ推定手法の実用化

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 基盤研究(A) 2014年4月 - 2019年3月

高増潔, 高橋哲
自律的欠陥探索・分裂型マルチ近接場プローブによる超平滑加工表面ナノ異物一括計測

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究挑戦的萌芽研究 2015年4月 - 2017年3月

高橋哲, 高増潔
局在光場動的制御を用いた次世代微細機能構造のナノ欠陥超解像計測への挑戦

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究挑戦的萌芽研究 2014年4月 - 2015年3月

高橋哲, 高増潔
全方位ナノ修正加工を実現する空間光場姿勢制御フォトン励起型マイクロ加工工具の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 基盤研究(A) 2011年4月 - 2015年3月

高橋哲, 高増潔
ナノ三次元計測における不確かさ推定手法の体系化

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 基盤研究(A) 2010年4月 - 2015年3月

高増潔, 高橋哲, 松本弘一, 古谷涼秋, 三隅伊知子, 佐藤理
動的局在光場並列制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究挑戦的萌芽研究 2013年4月 - 2014年3月

高橋哲, 高増潔
高アスペクト次世代ナノ微細構造加工表面の非破壊内部情報計測に関する

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究挑戦的萌芽研究 2011年 - 2012年

高橋哲, 高増潔
局在フォトン相互作用と酸化チタンナノ光触媒を利用したマイクロ三次元金属構造の創製

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 基盤研究(B) 2008年 - 2010年

高橋哲, 高増潔
エバネッセント・マルチフォトンプローブによる超精密平坦加工面のナノ欠陥高速計測法

日本学術振興会科学研究費助成事業萌芽研究萌芽研究 2006年 - 2007年

高橋哲, 高増潔

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産業財産権

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特開2023-126189 レーザ加工装置、レーザ加工システム、及びレーザ加工方法

高橋哲, 鷲尾涼太, 増田秀征, 増井周造, 門屋祥太郎, 道畑正岐
特許第6808155号母型の製造方法

高橋哲, 鈴木裕貴, 鈴木邦和, 道畑正岐, 高増潔, 田中大直, 西村涼
特開2020-067538 顕微鏡及び顕微法

高橋哲, 久米大将, 道畑正岐
特開2020-051823 計測装置

道畑正岐, 高橋哲
特許第7081790号観察装置、観察方法、及び照明装置

高橋哲, 佐久間涼子, 道畑正岐
特開2019-148773 観察装置、観察方法、及び照明装置

高橋哲, 佐久間涼子, 道畑正岐
特許第6555534号オーバーハング構造体の製造方法及び製造装置

高橋哲, 道畑正岐, 鈴木裕貴, 鈴木邦和, 田中大直
特開2017-154260 オーバーハング構造体の製造方法及び製造装置

高橋哲, 道畑正岐, 鈴木裕貴, 鈴木邦和, 田中大直
特許第6183915号照明方法および顕微観察装置

高橋哲, 高増潔, 工藤良太, 臼杵深
特許第6808155号母型の製造方法

高橋哲, 鈴木裕貴, 鈴木邦和, 道畑正岐, 高増潔, 田中大直, 西村涼
WO2017-030151 母型の製造方法

高橋哲, 鈴木裕貴, 鈴木邦和, 道畑正岐, 高増潔, 田中大直, 西村涼
特開2016-020867 欠陥観察方法及びその装置

大谷祐子, 前田俊二, 浦野雄太, 本田敏文, 平井大博, 高橋哲, 高増潔
特許第5646861号計測装置および計測方法

外山潔, 高増潔, 高橋哲
WO2013-125723 照明方法および顕微観察装置

高橋哲, 高増潔, 工藤良太, 臼杵深
WO2013-125723 照明方法および顕微観察装置

高橋哲, 高増潔, 工藤良太, 臼杵深
特許第5325048号誤差伝播による出力データの精度評価方法

高増潔, 高橋哲, 阿部誠
特開2011-179891 計測装置および計測方法

外山潔, 高増潔, 高橋哲
特開2011-143681 光造形装置、光造形方法及び造形物

高橋哲, 高増潔, 梶原優介, 長野敏宗
特許第4724833号高解像検出装置及び方法

高橋哲, 高増潔, 西岡宏晃
特開2011-047703 誤差伝播による出力データの精度評価方法

高増潔, 高橋哲, 阿部誠

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