特許権 欠陥観察方法及びその装置 株式会社日立ハイテクノロジーズ, 国立大学法人 東京大学 大谷 祐子, 前田 俊二, 浦野 雄太, 本田 敏文, 平井 大博, 高橋 哲, 高増 潔 出願番号 特願2014-145199 出願日 2014年7月15日 公開番号 特開2016-020867 公開日 2016年2月4日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201603007338765598URLhttp://jglobal.jst.go.jp/public/201603007338765598 ID情報 J-Global ID : 201603007338765598
