特許権 計測装置および計測方法 株式会社ニコン, 国立大学法人 東京大学 外山 潔, 高増 潔, 高橋 哲 出願番号 特願2010-042774 出願日 2010年2月26日 公開番号 特開2011-179891 公開日 2011年9月15日 特許番号/登録番号 特許第5646861号 登録日 2014年11月14日 発行日 2014年11月14日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201503099364193296URLhttp://jglobal.jst.go.jp/public/201503099364193296 ID情報 J-Global ID : 201503099364193296
