高増潔 (Kiyoshi Takamasu) - マイポータル

基本情報

所属: 東京大学 (名誉教授)

学位: 工学博士(1982年3月東京大学)

連絡先: takamasupe.t.u-tokyo.ac.jp
研究者番号: 70154896
ORCID iD: https://orcid.org/0000-0001-5957-3434
J-GLOBAL ID: 200901069547998624
researchmap会員ID: 1000185331

外部リンク: https://www.takamasu-lab.org

研究キーワード

研究分野

経歴

2020年6月 - 現在

東京大学, 名誉教授
2001年11月 - 2020年3月

東京大学大学院工学系研究科, 教授
1993年4月 - 2001年10月

東京大学大学院工学系研究科, 助教授
1987年10月 - 1993年3月

東京電機大学, 助教授
1985年4月 - 1987年9月

東京電機大学, 講師
1982年4月 - 1985年3月

東京大学工学部, 助手

学歴

1979年4月 - 1982年3月

東京大学, 工学系研究科, 精密機械工学博士課程修了工学博士
1977年4月 - 1979年3月

東京大学, 工学系研究科, 精密機械工学修士課程修了
1975年4月 - 1977年3月

東京大学, 工学部, 精密機械工学科工学学士
1973年4月 - 1975年3月

東京大学, 教養学部理科一類

受賞

2019年11月

Best Paper Award, Spectroscopic interferometer with a large length range by rotating diffraction grating, ASPEN2019

M. Chen, S. Xie, J. Li, Q. Liu, G. Zhou, C. Lin, H. Yu, J. Zhou, H. Wu, H. Matsumoto, S. Takahashi, K. Takamasu
2019年9月

精密工学会賞, 精密工学会

高増潔
2019年3月

精密工学会論文賞, One-shot stereolithography for biomimetic micro hemisphere covered with relief structure, 精密工学会

Yuki Suzuki, Kunikazu Suzuki, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
2018年11月

Best Paper Award, Analysing tapered fiber-microsphere coupling for diameter measurement of microsphere using whispering gallery mode resonance, ICPE2018

Yumeki Kobayashi, Zheng Zhao, Bohuai Chu, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
2018年10月

生産加工・工作機械部門優秀講演論文表彰, Whispering gallery mode共振を用いたマイクロ球直径計測－比較計測による計測精度評価－, 日本機械学会

道畑正岐,小林夢輝,儲博懐,高増潔,高橋哲
2017年9月

Best Paper Award, In-process measurement on the thickness of photosensitive resin in evanescent wave-based nano-stereolithography, ISMTII2017

Deqing Kong, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
2016年10月

工業標準化事業表彰：経済産業大臣表彰, 経済産業省

高増潔
2016年9月

生産加工・工作機械部門優秀講演論文賞, High-sensitive optical measurement of fine particulate defects on Si wafer surface with liquid probe, 日本機械学会

Kazuki Tachibana, Masaki Michihata, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
2014年9月

Excellent Paper Award, Non-Contact Measurement Technique for Dimensional Metrology Using Optical Comb, LMPMI2014

Wiroj Sudatham, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
2013年11月

生産加工・工作機械部門優秀講演論文表彰, Coherent Imaging Algorithm of Super-Resolution Optical Inspection with Structured Light Shift, 日本機械学会

Ryota Kudo, Hiroki Yokozeki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
2013年4月

Measurement Science and Technology Highlights of 2012, Absolute measurement of gauge block without wringing using tandem low-coherence interferometry, Measurement Science and Technology

Agustinus Winarno, Satoru Takahashi, Akiko Hirai, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
2013年3月

精密工学会フェロー, 精密工学会

高増潔
2012年3月

精密工学会沼田記念論文賞, Multi-probe scanning system comprising three laser interferometers and one autocollimator for measuring flat bar mirror profile with nanometer accuracy, 精密工学会

Ping Yang, Tomohiko Takamura, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Osamu Sato, Sonko Osawa, Toshiyuki Takatsuji
2011年11月

Best Paper Award, Remote Internal Diameter Measurement of Ring Gauge based on a Low-coherence Tandem Scheme, ASPEN2011

D. Wei, N. Wu, K. Takamasu, H. Matsumoto
2010年9月

Outstanding Paper Award, Advanced Absolute Length Metrology Based On Pulse Trains’ Constructive Interference – Measurements of Meter Order with an Accuracy of Nano Order –, IMEKO TC14

Dong Wei, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
2009年11月

Best Paper Award, In-process visualization of laser-assisted three-dimensional microfabrication using photocatalyst nanoparticles, ASPEN2009

K. Matsuda, S. Takahashi, K. Takamasu
2009年3月

精密工学会論文賞, 変調照明シフトによる超精密加工表面の超解像光学式欠陥計測に関する研究（第1報）－解像特性の理論的検討－, 精密工学会

臼杵深,西岡宏晃,高橋哲,高増潔
2008年3月

精密工学会論文賞, エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究（第2報）－定在エバネッセント光を利用した微細周期構造創製－, 精密工学会

梶原優介,稲月友一,高橋哲,高増潔
2007年11月

Award certification of Merit for the paper, Calibration of 6 DOF Parallel Mechanism Driven by Planar Motors, ISMQC2007

Kiyoshi Takamasu, Keisuke Yoshida, Tatsuya Senoo, Xin Chen, Kiyoshi Kotani, Satoru Takahashi
2007年3月

精密工学会論文賞, 平面リニアモータの精度校正に関する研究（第1報）－反射ミラーの形状計測－, 精密工学会

陳欣,高増潔,小谷潔,石田敏博

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論文

349

CSR-YOLO: A Deep Learning Approach for Optical Lens Defect Detection in Microscopic Vision

Xiande Bao, Kiyoshi Takamasu, Meiyun Chen

IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 2026年
A lightweight and multi-scale model for MLCC appearance defect detection

Junwei Zheng, Xiuhua Cao, Dawei Zhang, Kiyoshi Takamasu, Meiyun Chen

Optics & Laser Technology 2026年1月
Efficient Semi-Supervised Segmentation Network for X-Ray Metrology of Solder Joint Voids

Qicheng Lin, Kiyoshi Takamasu, Meiyun Chen

IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 2025年
Defect detection of MicroLED with low distinction based on deep learning

Meiyun Chen, Jinbiao Chen, Cheng Li, Qianxue Wang, Kiyoshi Takamasu

Optics and Lasers in Engineering 2024年2月
Machine Vision-Based Lightweight Multiscale Automatic Defect Segmentation Network for MLCC

Junjie He, Xiuhua Cao, Kiyoshi Takamasu, Meiyun Chen

IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 2024年
An Optical Lens Defect Detection Method for Micro Vision Based on WGSO-YOLO

Qicheng Lin, Kiyoshi Takamasu, Meiyun Chen

IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 2024年
Deep Learning-Based Multi-Species Appearance Defect Detection Model for MLCC

Minjie Du, Meiyun Chen, Xiuhua Cao, Kiyoshi Takamasu

IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 2024年
Flexible Evanescent Wave Interference Lithography System for Sub-half-Wavelength Complex Relief Structures Fabrication

Yuki Torii, Shuzo Masui, Yuki Matsumoto, Kunikazu Suzuki, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi

Nanomanufacturing and Metrology 4(4) 256-270 2021年12月
Numerical analysis on high resolution optical measurement method with long working distance objective for in-line inspection of micro-structured surface

Hiromasa Kume, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi

Precision Engineering 67 232-247 2021年1月
Three-dimensional surface profile measurement of a cylindrical surface using a multi-beam angle sensor

Meiyun Chen, Shengli Xie, Heng Wu, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu

Precision Engineering 62 62-70 2020年3月
Measuring optical properties of advanced nano/micro-periodic structures fabricated by multi-exposure interference lithography

Shuzo Masui, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi

JSME 2020 Conference on Leading Edge Manufacturing/Materials and Processing, LEMP 2020 2020年
High presicion measurement of elalon optical length using optical comb pulsed interference

Shusei Masuda, Tomohiko Takamura, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu

Proceedings of the 20th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, EUSPEN 2020 323-324 2020年
階層型微細機能構造創製に関する研究（第2報）:インプロセス干渉縞計測による多重干渉リソグラフィーの露光制御

増井周造, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

精密工学会学術講演会講演論文集 2020 17-18 2020年
階層型微細機能構造創製に関する研究（第1報）:多重定在波照明露光構造の光学特性の理論解析

畚野剛瑠, 増井周造, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

精密工学会学術講演会講演論文集 2020 3-4 2020年
光共振損失を用いたSPMプローブチップのオンマシン評価に関する研究

津田信道, 儲博懐, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

精密工学会学術講演会講演論文集 2020 582-583 2020年
自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究（第8報）:位相利用高感度観察装置によるSiウェハ上の微小異物検出

小田桐央拓, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

精密工学会学術講演会講演論文集 2020 580-581 2020年
微細構造基板を利⽤した超解像イメージングに関する研究（第2報）:ディープラーニングによる再構成能力の評価

市川廉, 久米大将, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲, 西川正俊

精密工学会学術講演会講演論文集 2020 574-575 2020年
定在波照明を用いたマイクロ光ファイバのインプロセス直径計測（第2報）:測定精度改善の検討

船岩大輝, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

精密工学会学術講演会講演論文集 2020 621-621 2020年
パルス干渉を用いたエタロン光学長の高精度計測:温度特性の評価

増田秀征, 高村智彦, 高橋哲, 松本弘一, 高増潔

精密工学会学術講演会講演論文集 2020 632-633 2020年
定在波照明を用いた表面微細加工構造の長作動距離超解像欠陥検査

久米大将, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

精密工学会学術講演会講演論文集 2020 628-628 2020年

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MISC

339

形状測定の現状と動向 : 非接触形状測定の課題、幾何公差の測定不確かさ評価—特集成形品の形状測定技術最前線

高増潔

型技術 = Die and mould technology : 金型の総合技術誌 38(5) 18-21 2023年4月
8th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2019)

高増潔

天田財団助成研究成果報告書 33 441 2020年
エバネッセント光干渉リソグラフィーを用いたナノ・マイクロ構造の一括造形

増井周造, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

光学シンポジウム講演予稿集 44th 2019年
エバネッセント光多方位干渉造形法による次世代表面機能構造の創製(第2報)-サブ波長表面構造の造形と光学特性評価-

増井周造, 鈴木裕貴, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲, 柴沼俊彦, 田中大直

精密工学会大会学術講演会講演論文集 2018 2018年
High-precision measurement of dielectric microsphere diameter using whispering gallery mode resonance

Bohuai Chu, Kohei Hayashi, Zheng Zhao, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi

Proceedings of the 9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, LEM 2017 2017年11月13日
Characteristic analysis of phase contrast microscopy in liquid probe type surface inspection method

Kazuki Tachibana, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi

Proceedings of the 9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, LEM 2017 2017年11月13日
Virtual CMMによるリングゲージ測定の不確かさの推定

中西正一, 三浦由佳, 樋口英一, 高増潔, 阿部誠, 佐藤理

センシングフォーラム資料 34 389-393 2017年8月31日
Virtual CMMによる不確かさの検証 : CMMによるホールプレートの測定

三浦由佳, 中西正一, 樋口英一, 高増潔, 阿部誠, 佐藤理

センシングフォーラム資料 34 384-388 2017年8月31日
Non-contact remote measurement of internal distance between two plane mirrors by using a tandem lowcoherence interferometer

Winarno Agustinus, Shusei Masuda, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu, Takao Kitayama, Ryota Kudo, Katsuyoshi Endo

ASPEN/ASPE Spring Topical Meeting on Manufacture and Metrology of Structured and Freeform Surfaces for Functional Applications 2017年1月1日
Whispering gallery mode共振を用いたマイクロ球径計測:（テーパファイバによる光結合解析）

道畑正岐, 趙正, 儲博懐, 林晃平, 高増潔, 高橋哲

年次大会 2017 S1330105 2017年
幾何特性仕様と幾何公差の解釈および測定方法—Geometrical Product Specifications and Interpretation and Measurement Method of Geometrical Tolerance

高増潔

検査技術 / 検査技術編集委員会編 21(9) 1-4 2016年9月
Virtual CMMによる不確かさの検証 : CMMによるステップゲージの測定

三浦由佳, 中西正一, 樋口英一, 高増潔, 阿部誠, 佐藤理

センシングフォーラム資料 33 278-282 2016年9月1日
Theoretical analysis of improved back-focal-plane interferometry for monitoring nanoparticle position

Shuzo Masui, Yousuke Horita, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi

Proceedings - ASPE 2016 Annual Meeting 136-139 2016年1月1日
Development of 3D form measurement of semiconductor structure - Measurement of FinFET profile using TEM and CD-SEM images

Yuki Iwaki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu

Proceedings of the 16th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, EUSPEN 2016 2016年1月1日
Omnidirectional one-shot exposure micro-stereolithography for biomimetic hemisphere with micro structured surface

Yuki Suzuki, Kunikazu Suzuki, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi

Proceedings - ASPE 2016 Annual Meeting 407-410 2016年1月1日
Precision absolute distance measurement technique onto rough surface object using self-beat signals of optical frequency comb

Fuminori Kimura, Taro Onoe, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto

Proceedings of the 16th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, EUSPEN 2016 2016年1月1日
Multi-beam interference lithography based on evanescent wave for functional nano-complex surface

Shuzo Masui, Yuki Suzuki, Yuki Matsumoto, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi

Proceedings - 32nd ASPE Annual Meeting 113-116 2016年1月1日
後側焦点面干渉法を用いた光触媒ナノ加工粒子変位計測の高感度化

増井周造, 堀田陽亮, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

年次大会 2016 S1330201 2016年
Whispering gallery mode 共振を用いたマイクロ球径計測:（偏光に着目した屈折率校正法の提案）

道畑正岐, 儲博懐, 高増潔, 高橋哲

年次大会 2016 S1330103 2016年
エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究:―エバネッセント露光用光硬化性樹脂の開発―

松本侑己, 鈴木裕貴, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会 2016 B30 2016年

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書籍等出版物

Data Processing Method for Geometrical Forms with form deviations in Coordinate Metrology(共著)

Computer-Aided Tolerancing 1996年

所属学協会

Works(作品等)

バーチャルCMM(三次元測定株)の国際標準化

1999年 - 2001年
International Standard Development of Virtual CMM

1999年 - 2001年
物理標準の高度化に関する研究

1997年 - 2001年

共同研究・競争的資金等の研究課題

ミューオンg-2/EDM精密測定のための検出器アライメントモニターの開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2019年4月 - 2022年3月

久米達哉, 道畑正岐, 三部勉, 高増潔
複合マイクロ粒子機能構造体生産のための局在光制御セルインマイクロファクトリの開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 2015年4月 - 2019年3月

高橋哲, 高増潔, 道畑正岐
次世代三次元形状の高精度化のための三次元計測における不確かさ推定手法の実用化

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 2014年4月 - 2019年3月

高増潔, 高橋哲
自律的欠陥探索・分裂型マルチ近接場プローブによる超平滑加工表面ナノ異物一括計測

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究 2015年4月 - 2017年3月

高橋哲, 高増潔
大型構造物を対象としたコムセルフビート距離計を用いた粗面の三次元絶対形状測定

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究 2014年4月 - 2016年3月

高増潔
局在光場動的制御を用いた次世代微細機能構造のナノ欠陥超解像計測への挑戦

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究 2014年4月 - 2015年3月

高橋哲, 高増潔
全方位ナノ修正加工を実現する空間光場姿勢制御フォトン励起型マイクロ加工工具の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 2011年4月 - 2015年3月

高橋哲, 高増潔
ナノ三次元計測における不確かさ推定手法の体系化

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 2010年4月 - 2015年3月

高増潔, 高橋哲, 松本弘一, 古谷涼秋, 三隅伊知子, 佐藤理
動的局在光場並列制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究 2013年4月 - 2014年3月

高橋哲, 高増潔
フェムト秒レーザを用いた生産環境のトレーサブル絶対三次元空間化

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究 2011年 - 2012年

高増潔
高アスペクト次世代ナノ微細構造加工表面の非破壊内部情報計測に関する

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究 2011年 - 2012年

高橋哲, 高増潔
局在フォトン相互作用と酸化チタンナノ光触媒を利用したマイクロ三次元金属構造の創製

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2008年 - 2010年

高橋哲, 高増潔
エバネッセント・マルチフォトンプローブによる超精密平坦加工面のナノ欠陥高速計測法

日本学術振興会科学研究費助成事業萌芽研究 2006年 - 2007年

高橋哲, 高増潔
ナノスケール生産基盤におけるコア計測技術に関する企画調査

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2006年 - 2007年

高増潔, 高谷裕浩, 高偉, 高辻利之, 笹島和幸, 古谷涼秋
次世代生産システムにおける三次元計測を中心とした測定の不確かさの研究

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 2004年 - 2007年

高増潔, 高橋哲, 古谷涼秋
エバネッセント局在フォトンを利用したナノ光造形法に関する基礎的研究

日本学術振興会科学研究費助成事業萌芽研究 2004年 - 2005年

高橋哲, 高増潔
ナノメートル分解能の三次元座標測定機の改良と精度評価手法の確立

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2001年 - 2003年

高増潔, 古谷涼秋
三次元座標測定における測定の不確かさの評価方法の研究

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2001年 - 2003年

高増潔, 古谷涼秋
nano-CMM(ナノメートル分解能の三次元座標測定機)の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 1995年 - 1997年

高増潔
座標計測の高度化に関する研究

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 1995年 - 1996年

下河辺明, 高増潔, 三好隆志, 高田孝次, 清野慧, 大園成夫

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産業財産権

特許第6183915号照明方法および顕微観察装置

高橋哲, 高増潔, 工藤良太, 臼杵深
特許第6019360号光ヘテロダイン距離計

松本弘一, 高増潔, 石橋爾子
特開2016-020867 欠陥観察方法及びその装置

大谷祐子, 前田俊二, 浦野雄太, 本田敏文, 平井大博, 高橋哲, 高増潔
特許第5646861号計測装置および計測方法

外山潔, 高増潔, 高橋哲
特開2014-102258 距離測定装置および距離測定方法

立崎武弘, 渡辺正浩, 針山達雄, 吉武康裕, 松井哲也, 松本弘一, 高増潔
特許第5506491号距離測定装置および距離測定方法

立崎武弘, 渡辺正浩, 針山達雄, 吉武康裕, 松井哲也, 松本弘一, 高増潔
特開2013-178169 光ヘテロダイン距離計

松本弘一, 高増潔, 石橋爾子
WO2013-125723 照明方法および顕微観察装置

高橋哲, 高増潔, 工藤良太, 臼杵深
特許第5325048号誤差伝播による出力データの精度評価方法

高増潔, 高橋哲, 阿部誠
特開2011-203550 ヘテロダイン光源、並びに、それを用いた光吸収/光損失計測装置及び分光分析装置

松本弘一, 高増潔, 石橋爾子
特開2011-203188 距離測定装置および距離測定方法

立崎武弘, 渡辺正浩, 針山達雄, 吉武康裕, 松井哲也, 松本弘一, 高増潔
特開2011-179891 計測装置および計測方法

外山潔, 高増潔, 高橋哲
特開2011-143681 光造形装置，光造形方法及び造形物

高橋哲, 高増潔, 梶原優介, 長野敏宗
特許第4724833号高解像検出装置及び方法

高橋哲, 高増潔, 西岡宏晃
特開2011-047703 誤差伝播による出力データの精度評価方法

高増潔, 高橋哲, 阿部誠
特許第4602710号形状形成方法

高橋哲, 高増潔
特開2010-185807 表面形状計測装置、表面形状計測方法、露光装置及びデバイス製造方法

稲秀樹, 松本隆宏, 高増潔, 高橋哲
特許第4528583号生体負荷検査装置

小谷潔, 高増潔
特開2007-298314 非破壊膜厚計測方法及び装置

高橋哲, 高増潔, 中尾敏之
特開2007-225563 高解像検出装置及び方法

高橋哲, 高増潔, 西岡宏晃

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高増潔

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学歴

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論文

MISC

書籍等出版物

所属学協会

Works(作品等)

共同研究・競争的資金等の研究課題

産業財産権

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