高増潔 (Kiyoshi Takamasu) - マイポータル

基本情報

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Smart optical measurement probe for autonomously detecting nano-defects on bare semiconductor wafer surface: Verification of proposed concept

Kazuki Tachibana, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi

Precision Engineering 61 93 - 102 2020年1月査読有り
マイクロスケール標準球計測に向けたWhispering gallery mode共振の安定的励起計測システムの開発

道畑正岐, 小林夢輝, 儲博懐, 高増潔, 高橋哲

日本機械学会論文集 85(880) 2019年12月査読有り
ベッセルビームの光放射圧ポテンシャルを用いたマイクロスケールAdditive Manufacturingの加工原理検証

道畑正岐, 林政洋, 代慶真, 高増潔, 高橋哲

日本機械学会論文集 85(880) 2019年12月査読有り
Fabrication of nano/micro dual-periodic structures by multi-beam evanescent wave interference lithography using spatial beats

Shuzo Masui, Yuki Torii, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi

Optics express 27(22) 31522 2019年10月査読有り
Quantitative depth evaluation of microgrooves on polymer material beyond the diffraction limit

Shiwei Ye, Satoru Takahashi, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Hans Nørgaard Hansen, Matteo Calaon

Precision Engineering 59 56 - 65 2019年9月査読有り

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High-precision measurement of dielectric microsphere diameter using whispering gallery mode resonance

Bohuai Chu, Kohei Hayashi, Zheng Zhao, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi

Proceedings of the 9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, LEM 2017 2017年11月13日
Characteristic analysis of phase contrast microscopy in liquid probe type surface inspection method

Kazuki Tachibana, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi

Proceedings of the 9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, LEM 2017 2017年11月13日
Non-contact remote measurement of internal distance between two plane mirrors by using a tandem lowcoherence interferometer

Winarno Agustinus, Shusei Masuda, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu, Takao Kitayama, Ryota Kudo, Katsuyoshi Endo

ASPEN/ASPE Spring Topical Meeting on Manufacture and Metrology of Structured and Freeform Surfaces for Functional Applications 2017年1月1日
Whispering gallery mode共振を用いたマイクロ球径計測:（テーパファイバによる光結合解析）

道畑正岐, 趙正, 儲博懐, 林晃平, 高増潔, 高橋哲

年次大会 2017 2017年
Theoretical analysis of improved back-focal-plane interferometry for monitoring nanoparticle position

Shuzo Masui, Yousuke Horita, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi

Proceedings - ASPE 2016 Annual Meeting 136 - 139 2016年1月1日