高増潔 (Kiyoshi Takamasu) - マイポータル

基本情報

所属: 東京大学 (名誉教授)

学位: 工学博士(1982年3月東京大学)

研究者番号: 70154896
ORCID ID: https://orcid.org/0000-0001-5957-3434
J-GLOBAL ID: 200901069547998624
researchmap会員ID: 1000185331

外部リンク: https://www.takamasu-lab.org

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研究分野

経歴

2020年6月 - 現在

東京大学名誉教授
2001年11月 - 2020年3月

東京大学大学院工学系研究科教授
1993年4月 - 2001年10月

東京大学大学院工学系研究科助教授
1987年10月 - 1993年3月

東京電機大学助教授
1985年4月 - 1987年9月

東京電機大学講師
1982年4月 - 1985年3月

東京大学工学部助手

学歴

1979年4月 - 1982年3月

東京大学工学系研究科精密機械工学博士課程修了工学博士
1977年4月 - 1979年3月

東京大学工学系研究科精密機械工学修士課程修了
1975年4月 - 1977年3月

東京大学工学部精密機械工学科工学学士
1973年4月 - 1975年3月

東京大学教養学部理科一類

受賞

2019年11月

Best Paper Award Spectroscopic interferometer with a large length range by rotating diffraction grating ASPEN2019

M. Chen, S. Xie, J. Li, Q. Liu, G. Zhou, C. Lin, H. Yu, J. Zhou, H. Wu, H. Matsumoto, S. Takahashi, K. Takamasu
2019年9月

精密工学会賞精密工学会

高増潔
2019年3月

精密工学会論文賞 One-shot stereolithography for biomimetic micro hemisphere covered with relief structure 精密工学会

Yuki Suzuki, Kunikazu Suzuki, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
2018年11月

Best Paper Award Analysing tapered fiber-microsphere coupling for diameter measurement of microsphere using whispering gallery mode resonance ICPE2018

Yumeki Kobayashi, Zheng Zhao, Bohuai Chu, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
2018年10月

生産加工・工作機械部門優秀講演論文表彰 Whispering gallery mode共振を用いたマイクロ球直径計測－比較計測による計測精度評価－日本機械学会

道畑正岐,小林夢輝,儲博懐,高増潔,高橋哲
2017年9月

Best Paper Award In-process measurement on the thickness of photosensitive resin in evanescent wave-based nano-stereolithography ISMTII2017

Deqing Kong, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi
2016年10月

工業標準化事業表彰：経済産業大臣表彰経済産業省

高増潔
2016年9月

生産加工・工作機械部門優秀講演論文賞 High-sensitive optical measurement of fine particulate defects on Si wafer surface with liquid probe 日本機械学会

Kazuki Tachibana, Masaki Michihata, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
2014年9月

Excellent Paper Award Non-Contact Measurement Technique for Dimensional Metrology Using Optical Comb LMPMI2014

Wiroj Sudatham, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
2013年11月

生産加工・工作機械部門優秀講演論文表彰 Coherent Imaging Algorithm of Super-Resolution Optical Inspection with Structured Light Shift 日本機械学会

Ryota Kudo, Hiroki Yokozeki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu
2013年4月

Measurement Science and Technology Highlights of 2012 Absolute measurement of gauge block without wringing using tandem low-coherence interferometry Measurement Science and Technology

Agustinus Winarno, Satoru Takahashi, Akiko Hirai, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
2013年3月

精密工学会フェロー精密工学会

高増潔
2012年3月

精密工学会沼田記念論文賞 Multi-probe scanning system comprising three laser interferometers and one autocollimator for measuring flat bar mirror profile with nanometer accuracy 精密工学会

Ping Yang, Tomohiko Takamura, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Osamu Sato, Sonko Osawa, Toshiyuki Takatsuji
2011年11月

Best Paper Award Remote Internal Diameter Measurement of Ring Gauge based on a Low-coherence Tandem Scheme ASPEN2011

D. Wei, N. Wu, K. Takamasu, H. Matsumoto
2010年9月

Outstanding Paper Award Advanced Absolute Length Metrology Based On Pulse Trains’ Constructive Interference – Measurements of Meter Order with an Accuracy of Nano Order – IMEKO TC14

Dong Wei, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto
2009年11月

Best Paper Award In-process visualization of laser-assisted three-dimensional microfabrication using photocatalyst nanoparticles ASPEN2009

K. Matsuda, S. Takahashi, K. Takamasu
2009年3月

精密工学会論文賞変調照明シフトによる超精密加工表面の超解像光学式欠陥計測に関する研究（第1報）－解像特性の理論的検討－精密工学会

臼杵深,西岡宏晃,高橋哲,高増潔
2008年3月

精密工学会論文賞エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究（第2報）－定在エバネッセント光を利用した微細周期構造創製－精密工学会

梶原優介,稲月友一,高橋哲,高増潔
2007年11月

Award certification of Merit for the paper Calibration of 6 DOF Parallel Mechanism Driven by Planar Motors ISMQC2007

Kiyoshi Takamasu, Keisuke Yoshida, Tatsuya Senoo, Xin Chen, Kiyoshi Kotani, Satoru Takahashi
2007年3月

精密工学会論文賞平面リニアモータの精度校正に関する研究（第1報）－反射ミラーの形状計測－精密工学会

陳欣,高増潔,小谷潔,石田敏博

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論文

249

Flexible Evanescent Wave Interference Lithography System for Sub-half-Wavelength Complex Relief Structures Fabrication

Yuki Torii, Shuzo Masui, Yuki Matsumoto, Kunikazu Suzuki, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi

Nanomanufacturing and Metrology 2021年4月20日
Numerical analysis on high resolution optical measurement method with long working distance objective for in-line inspection of micro-structured surface

Hiromasa Kume, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi

Precision Engineering 67 232-247 2021年1月
Three-dimensional surface profile measurement of a cylindrical surface using a multi-beam angle sensor

Meiyun Chen, Shengli Xie, Heng Wu, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu

Precision Engineering 62 62-70 2020年3月
High presicion measurement of elalon optical length using optical comb pulsed interference

Shusei Masuda, Tomohiko Takamura, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu

Proceedings of the 20th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, EUSPEN 2020 323-324 2020年
階層型微細機能構造創製に関する研究（第2報）:インプロセス干渉縞計測による多重干渉リソグラフィーの露光制御

増井周造, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

精密工学会学術講演会講演論文集 2020 17-18 2020年
階層型微細機能構造創製に関する研究（第1報）:多重定在波照明露光構造の光学特性の理論解析

畚野剛瑠, 増井周造, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

精密工学会学術講演会講演論文集 2020 3-4 2020年
光共振損失を用いたSPMプローブチップのオンマシン評価に関する研究

津田信道, 儲博懐, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

精密工学会学術講演会講演論文集 2020 582-583 2020年
自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究（第8報）:位相利用高感度観察装置によるSiウェハ上の微小異物検出

小田桐央拓, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

精密工学会学術講演会講演論文集 2020 580-581 2020年
微細構造基板を利⽤した超解像イメージングに関する研究（第2報）:ディープラーニングによる再構成能力の評価

市川廉, 久米大将, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲, 西川正俊

精密工学会学術講演会講演論文集 2020 574-575 2020年
定在波照明を用いたマイクロ光ファイバのインプロセス直径計測（第2報）:測定精度改善の検討

船岩大輝, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

精密工学会学術講演会講演論文集 2020 621-621 2020年
パルス干渉を用いたエタロン光学長の高精度計測:温度特性の評価

増田秀征, 高村智彦, 高橋哲, 松本弘一, 高増潔

精密工学会学術講演会講演論文集 2020 632-633 2020年
定在波照明を用いた表面微細加工構造の長作動距離超解像欠陥検査

久米大将, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

精密工学会学術講演会講演論文集 2020 628-628 2020年
光放射圧ポテンシャルに基づく3次元微細構造加工に関する基礎的研究（第3報）:ハイスピードカメラによる加工原理の検討

代慶真, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

精密工学会学術講演会講演論文集 2020 99-100 2020年
局在光制御によるセルインマイクロファクトリに関する基礎的研究（第5報）:マイクロレジンの空間位置制御によるマイクロ粒子アセンブリ

福井健太, 増井周造, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

精密工学会学術講演会講演論文集 2020 802-803 2020年
Advanced generation of functional dual-periodic microstructured surface based on optical in-process measurement

Satoru Takahashi, Shuzo Masui, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu

CIRP Annals 69(1) 477-480 2020年
Smart optical measurement probe for autonomously detecting nano-defects on bare semiconductor wafer surface: Verification of proposed concept

Kazuki Tachibana, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi

Precision Engineering 61 93-102 2020年1月査読有り
Absolute distance measurement based on spectral interferometer using the effect of the FSR of a Fabry–Perot etalon

Meiyun Chen, Shengli Xie, G. Zhou, Dong Wei, Heng Wu, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu

Optics and Lasers in Engineering 123 20-27 2019年12月
マイクロスケール標準球計測に向けたWhispering gallery mode共振の安定的励起計測システムの開発

道畑正岐, 小林夢輝, 儲博懐, 高増潔, 高橋哲

日本機械学会論文集 85(880) 19-00226-19-00226 2019年12月査読有り
ベッセルビームの光放射圧ポテンシャルを用いたマイクロスケールAdditive Manufacturingの加工原理検証

道畑正岐, 林政洋, 代慶真, 高増潔, 高橋哲

日本機械学会論文集 85(880) 19-00244-19-00244 2019年12月査読有り
Fabrication of nano/micro dual-periodic structures by multi-beam evanescent wave interference lithography using spatial beats.

Shuzo Masui, Yuki Torii, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi

Optics express 27(22) 31522-31531 2019年10月28日査読有り

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MISC

229

High-precision measurement of dielectric microsphere diameter using whispering gallery mode resonance

Bohuai Chu, Kohei Hayashi, Zheng Zhao, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi

Proceedings of the 9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, LEM 2017 2017年11月13日
Characteristic analysis of phase contrast microscopy in liquid probe type surface inspection method

Kazuki Tachibana, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi

Proceedings of the 9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, LEM 2017 2017年11月13日
Non-contact remote measurement of internal distance between two plane mirrors by using a tandem lowcoherence interferometer

Winarno Agustinus, Shusei Masuda, Satoru Takahashi, Hirokazu Matsumoto, Kiyoshi Takamasu, Takao Kitayama, Ryota Kudo, Katsuyoshi Endo

ASPEN/ASPE Spring Topical Meeting on Manufacture and Metrology of Structured and Freeform Surfaces for Functional Applications 2017年1月1日
Whispering gallery mode共振を用いたマイクロ球径計測:（テーパファイバによる光結合解析）

道畑正岐, 趙正, 儲博懐, 林晃平, 高増潔, 高橋哲

年次大会 2017 2017年
Theoretical analysis of improved back-focal-plane interferometry for monitoring nanoparticle position

Shuzo Masui, Yousuke Horita, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi

Proceedings - ASPE 2016 Annual Meeting 136-139 2016年1月1日
Development of 3D form measurement of semiconductor structure - Measurement of FinFET profile using TEM and CD-SEM images

Yuki Iwaki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu

Proceedings of the 16th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, EUSPEN 2016 2016年1月1日
Omnidirectional one-shot exposure micro-stereolithography for biomimetic hemisphere with micro structured surface

Yuki Suzuki, Kunikazu Suzuki, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi

Proceedings - ASPE 2016 Annual Meeting 407-410 2016年1月1日
Precision absolute distance measurement technique onto rough surface object using self-beat signals of optical frequency comb

Fuminori Kimura, Taro Onoe, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu, Hirokazu Matsumoto

Proceedings of the 16th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, EUSPEN 2016 2016年1月1日
Multi-beam interference lithography based on evanescent wave for functional nano-complex surface

Shuzo Masui, Yuki Suzuki, Yuki Matsumoto, Masaki Michihata, Kiyoshi Takamasu, Satoru Takahashi

Proceedings - 32nd ASPE Annual Meeting 113-116 2016年1月1日
後側焦点面干渉法を用いた光触媒ナノ加工粒子変位計測の高感度化

増井周造, 堀田陽亮, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

年次大会 2016 2016年
Whispering gallery mode 共振を用いたマイクロ球径計測:（偏光に着目した屈折率校正法の提案）

道畑正岐, 儲博懐, 高増潔, 高橋哲

年次大会 2016 2016年
エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究:―エバネッセント露光用光硬化性樹脂の開発―

松本侑己, 鈴木裕貴, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会 2016 2016年
表面プラズモン共鳴を用いたマイクロ光造形のインプロセス計測

孔徳卿, 道畑正岐, 高増潔, 高橋哲

生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会 2016 2016年
Improvement of lateral shape controlling with nitrogen purge for nano-stereolithography using evanescent light

Yuki Suzuki, Hiroyuki Tahara, Masaki Michihata, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu

Proceedings of the 8th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, LEM 2015 2015年10月18日
Roundness measurement machine using multi-beam angle sensor - Experimental verification of multi-beam angle sensor

Chen Meiyun, Genki Miyazaki, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu

Proceedings of the 15th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, EUSPEN 2015 125-126 2015年1月1日
Absolute precision measurement for space coordinates metrology using an opticalcomb pulsed interferometer with a ball lens target

Wiroj Sudatham, Hirokazu Matsumoto, Satoru Takahashi, Kiyoshi Takamasu

Proceedings of the 15th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology, EUSPEN 2015 109-110 2015年1月1日
S1320103 スポット重複移動情報を用いた光学式超解像検査法の開発

金成碩, 久米大将, 横関宏樹, 高橋哲, 高増潔

年次大会 2015 _S1320103--_S1320103- 2015年
S1320104 光学的ナノ異物検出を可能とする高感度液相プローブ計測法の研究

橘一輝, 高橋哲, 高増潔

年次大会 2015 _S1320104--_S1320104- 2015年
21312 スポット重複移動情報を用いた光学式超解像検査法に関する基礎研究

鈴木邦和, 横関宏樹, 工藤良太, 高橋哲, 高増潔

日本機械学会関東支部総会講演会講演論文集 2014(20) "21312-1"-"21312-2" 2014年3月14日
Fundamental study on the world's thinnest layered micro-stereolithography using evanescent light

Satoru Takahashi, Hiroyuki Tahara, Kodai Miyakawa, Yusuke Kajihara, Kiyoshi Takamasu

Proceedings - ASPE 2014 Spring Topical Meeting: Dimensional Accuracy and Surface Finish in Additive Manufacturing 163-166 2014年1月1日