受賞

2010年10月

研究奨励賞

第2回集積化MEMSシンポジウム

池戸昭仁
河野剛士
石田誠

タイトル: pn接合を有する垂直配向Siマイクロワイヤを用いた突出型フォースセンサアレイ

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