基本情報

所属
成蹊大学 理工学部 物質生命理工学科 教授
学位
博士(工学)(東京大学)

研究者番号
40237342
J-GLOBAL ID
200901048314885741

外部リンク

スパッタリング法を中心にした薄膜作製法、および薄膜の評価法について実験的な研究を行っています。

研究キーワード

  3

学歴

  2

論文

  44

MISC

  27

書籍等出版物

  9

講演・口頭発表等

  4

共同研究・競争的資金等の研究課題

  12