2008年10月
スパッタリング法の実務的なQ&A解説 (オプトロニクス 液晶・プラズマディスプレイ・光ディスクで多用される スパッタリング法の実務Q&A解説)
マテリアルステージ
- ,
- ,
- 巻
- 8
- 号
- 7
- 開始ページ
- 23
- 終了ページ
- 41
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- 出版者・発行元
- 技術情報協会
- リンク情報
-
- CiNii Articles
- http://ci.nii.ac.jp/naid/40016280197
- ID情報
-
- ISSN : 1346-3926
- CiNii Articles ID : 40016280197
- identifiers.cinii_nr_id : 9000002592008