MISC

2008年10月

スパッタリング法の実務的なQ&A解説 (オプトロニクス 液晶・プラズマディスプレイ・光ディスクで多用される スパッタリング法の実務Q&A解説)

マテリアルステージ
  • 小島 啓安
  • ,
  • 菊地 直人
  • ,
  • 中野 武雄

8
7
開始ページ
23
終了ページ
41
記述言語
日本語
掲載種別
出版者・発行元
技術情報協会

リンク情報
CiNii Articles
http://ci.nii.ac.jp/naid/40016280197
ID情報
  • ISSN : 1346-3926
  • CiNii Articles ID : 40016280197
  • identifiers.cinii_nr_id : 9000002592008

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