田中勝 (Masaru TANAKA) - マイポータル

基本情報

Adjustment Method of MEMS Dual-Cantilever Deflection Using Plastic Deformation of Al and Ni Thin Film by Thermal Annealing

Masaru Tanaka, Yota Iijima, Yusuke Masuda, Tsubasa Sato, Takashi Mineta

Electronics 12(14) 3153-3153 2023年7月20日査読有り筆頭著者責任著者
クリーンルーム雰囲気中のアンモニア及びアミンガスを監視するウエットデニューダ方式の自動モニタ

田中勝

分析化学 Vol.66(No.7) 503-508 2017年7月査読有り
The poisonous effect of alkali adatoms on Cl-2 sticking

S Yoneda, Y Babasaki, M Tanaka, FH Geuzebroek, F Koga, N Yamazaki, A Namiki

SURFACE SCIENCE 363(1-3) 11-21 1996年8月査読有り
Supersonic molecular beam scattering of Cl2 from clean and alkali-coverd with Si （100）2ｘ1

田中勝

Surface Science 297(2) 141-150 1993年11月査読有り
A MOLECULAR-BEAM STUDY OF ALKALI PROMOTION OF NO STICKING ON SI(100) - LOCAL PROMOTION IN A SINGLE COLLISION REGIME

A NAMIKI, S SUZUKI, H KATO, Y BABASAKI, M TANAKA, T NAKAMURA, T SUZAKI

JOURNAL OF CHEMICAL PHYSICS 97(5) 3781-3793 1992年9月査読有り