2015年3月 スパッタリング法によるEr2O3/TiO2誘電体多層膜の作製 第76回応用物理学会秋季学術講演会 大島多美子, 山田創介, 川崎仁晴, 柳生義人, 猪原武士, 須田義昭 記述言語 日本語 会議種別 口頭発表(一般)