論文

2023年1月1日

Evaluation of Damage in Crystalline Silicon Substrate Induced by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition of Amorphous Silicon Films

ECS Journal of Solid State Science and Technology
  • H. Kojima
  • ,
  • T. Nishihara
  • ,
  • K. Gotoh
  • ,
  • N. Usami
  • ,
  • T. Hara
  • ,
  • K. Nakamura
  • ,
  • Y. Ohshita
  • ,
  • A. Ogura

記述言語
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
DOI
10.1149/2162-8777/acb4bb

リンク情報
DOI
https://doi.org/10.1149/2162-8777/acb4bb
ID情報
  • DOI : 10.1149/2162-8777/acb4bb
  • ORCIDのPut Code : 126922914

エクスポート
BibTeX RIS