論文

2020年7月1日

Evaluation of plasma induced defects on silicon substrate by solar cell fabrication process

Japanese Journal of Applied Physics
  • Kohei Onishi
  • ,
  • Yutaka Hara
  • ,
  • Tappei Nishihara
  • ,
  • Hiroki Kanai
  • ,
  • Takefumi Kamioka
  • ,
  • Yoshio Ohshita
  • ,
  • Atsushi Ogura

59
7
開始ページ
071003
終了ページ
071003
記述言語
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
DOI
10.35848/1347-4065/ab984d
出版者・発行元
{IOP} Publishing

リンク情報
DOI
https://doi.org/10.35848/1347-4065/ab984d
ID情報
  • DOI : 10.35848/1347-4065/ab984d
  • ORCIDのPut Code : 74943590

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