特許権 ホローカソード及びこれに用いられる電子放出部材 日新イオン機器株式会社 早川 太朗 出願番号 特願2016-165436(P2016-165436) 出願日 2016年8月26日 公開番号 特開2018-32568(P2018-32568A) 公開日 2018年3月1日