論文

査読有り 筆頭著者
2019年12月

Development of 1.2-GHz ECR Ion Source and Wien Filter for Inexpensive Ion Beam Processing System

Review of Scientific Instruments
  • Toyohisa Asaji
    • ,
  • Hiroya Uyama
    • ,
  • Takuro Umetsugu
    • ,
  • Tsubasa Nakamura
    • ,
  • Takeshi Hitobo
    • ,
  • Yushi Kato
巻
90
号
開始ページ
123508
終了ページ
記述言語
英語
掲載種別
研究論文（学術雑誌）
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