産業財産権

特許権

プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法

  • 石島達夫
    • ,
  • 森本健太朗
    • ,
  • 上杉喜彦
    • ,
  • 田中康規
出願番号
特願2017-095597
出願日
2017年5月12日
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