2017年3月17日 異なる化学構造を有するポリマー膜に対する水プラズマアッシングプロセスの分光学的検討 第64回応用物理学会春季学術講演会 鈴木宏明, 北野卓也, 塩田有波, 石島達夫, 田中 康規, 上杉喜彦, 西山 聖, 堀邊 英夫 主催者 公益社団法人 応用物理学会 開催地 パシフィコ横浜 (横浜市西区みなとみらい)
