論文

査読有り
2019年6月1日

Progress and perspectives in dry processes for emerging multidisciplinary applications: how can we improve our use of dry processes?

Japanese Journal of Applied Physics
  • Taku Iwase
  • Yoshito Kamaji
  • Song Yun Kang
  • Kazunori Koga
  • Nobuyuki Kuboi
  • Moritaka Nakamura
  • Nobuyuki Negishi
  • Tomohiro Nozaki
  • Shota Nunomura
  • Daisuke Ogawa
  • Mitsuhiro Omura
  • Tetsuji Shimizu
  • Kazunori Shinoda
  • Yasushi Sonoda
  • Haruka Suzuki
  • Kazuo Takahashi
  • Takayoshi Tsutsumi
  • Kenichi Yoshikawa
  • Tatsuo Ishijima
  • Kenji Ishikawa
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巻
58
号
SE
開始ページ
SE0803
終了ページ
記述言語
掲載種別
研究論文（学術雑誌）
DOI
10.7567/1347-4065/ab163a
出版者・発行元
Japan Society of Applied Physics
リンク情報
DOI
https://doi.org/10.7567/1347-4065/ab163a
Web of Science
https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=JSTA_CEL&SrcApp=J_Gate_JST&DestLinkType=FullRecord&KeyUT=WOS:000474928100004&DestApp=WOS_CPL
URL
http://orcid.org/0000-0002-6746-2619
ID情報
  • DOI : 10.7567/1347-4065/ab163a
  • ISSN : 0021-4922
  • ORCIDのPut Code : 57972615
  • Web of Science ID : WOS:000474928100004
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