書籍等出版物

2015年

Chapter 9: Nanoscale Cu Wiring by Electrodeposition in Supercritical Carbon Dioxide Emulsified Electrolyte

  • M. Sone
  • ,
  • T. Shimizu
  • ,
  • N. Shinoda
  • ,
  • T.F.M. Chang

出版者・発行元
IntechOpen