2020年12月
Passivation of textured crystalline silicon with small pyramids by silicon nitride films formed by catalytic chemical vapor deposition and phosphorus catalytic impurity doping
Surfaces and Interfaces
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- 巻
- 21
- 号
- 開始ページ
- 100690
- 終了ページ
- 100690
- 記述言語
- 掲載種別
- 研究論文(学術雑誌)
- DOI
- 10.1016/j.surfin.2020.100690
- 出版者・発行元
- Elsevier BV
- ID情報
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- DOI : 10.1016/j.surfin.2020.100690
- ISSN : 2468-0230