論文

査読有り 最終著者 責任著者
2020年12月

Passivation of textured crystalline silicon with small pyramids by silicon nitride films formed by catalytic chemical vapor deposition and phosphorus catalytic impurity doping

Surfaces and Interfaces
  • Jing Liu
  • ,
  • Keitaro Hamada
  • ,
  • Seimei Akagi
  • ,
  • Noboru Ooyagi
  • ,
  • Yuzo Yamamoto
  • ,
  • Keisuke Ohdaira

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開始ページ
100690
終了ページ
100690
記述言語
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
DOI
10.1016/j.surfin.2020.100690
出版者・発行元
Elsevier BV

リンク情報
DOI
https://doi.org/10.1016/j.surfin.2020.100690
ID情報
  • DOI : 10.1016/j.surfin.2020.100690
  • ISSN : 2468-0230

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