2020年3月15日 PTFEターゲットを用いてRF-UBMS法で形成したフルオロカーボン膜の膜質 第67回応物春季学術講演会 戸谷陽文, 針谷達, 爲國公貴, 滝川浩史, 神谷雅男 記述言語 会議種別 口頭発表（一般）
