論文

査読有り筆頭著者責任著者

2019年4月

Self-supporting tetrahedral amorphous carbon films consisting of multilayered structure prepared using filtered arc deposition

Thin Solid Films

Toru Harigai
Yu Miyamoto
Masafumi Yamano
Tsuyoshi Tanimoto
Yoshiyuki Suda
Hirofumi Takikawa
Takeshi Kawano
Mamiko Nishiuchi
Hironao Sakaki
Kiminori Kondo
Satoru Kaneko
Shinsuke Kunitsugu

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巻: 675
号
開始ページ: 123
終了ページ: 127
記述言語: 英語
掲載種別: 研究論文（学術雑誌）
DOI: 10.1016/j.tsf.2019.02.022

リンク情報

DOI: https://doi.org/10.1016/j.tsf.2019.02.022

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DOI : 10.1016/j.tsf.2019.02.022

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