特許権 静電吸着部材、静電吸着装置、及び静電吸着部材の製造方法 芝浦工業大学;村田機械株式会社 長谷川忠大, 中島丈裕 出願番号 特願2021-144567 出願日 2021年9月6日 公開番号 特開2023-037788 公開日 2023年3月16日
