2014年6月30日
集束陽子線描画による三次元柔構造デバイスの創出,統合および超実装工学の推進
芝浦工業大学特別教育・研究報告集(CD-ROM)
- 巻
- 2013
- 号
- 開始ページ
- 348
- 終了ページ
- 359
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- 出版者・発行元
- 芝浦工業大学SIT総合研究所
- リンク情報
- ID情報
-
- ISSN : 2185-7326
- J-Global ID : 201402242025013781
- CiNii Articles ID : 40020726074
- identifiers.cinii_nr_id : 1000040247226