MISC

2019年8月28日

微細開口背面電極を用いた静電駆動型超音波振動子

センシングフォーラム資料(CD-ROM)
  • 二宮悠基
  • ,
  • 神垣貴晶
  • ,
  • 篠田裕之

36th
開始ページ
ROMBUNNO.1C2‐2
終了ページ
記述言語
日本語
掲載種別

リンク情報
J-GLOBAL
https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201902270012231514

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