2019年8月28日 微細開口背面電極を用いた静電駆動型超音波振動子 センシングフォーラム資料(CD-ROM) 二宮悠基, 神垣貴晶, 篠田裕之 巻 36th 号 開始ページ ROMBUNNO.1C2‐2 終了ページ 記述言語 日本語 掲載種別 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201902270012231514 エクスポート BibTeX RIS
