最上徹 (Tohru Mogami) - マイポータル

基本情報

所属: 国立研究開発法人産業技術総合研究所

J-GLOBAL ID: 201601013388226410
researchmap会員ID: B000250828

研究キーワード

研究分野

論文

109

Device structure and fabrication process for silicon spin qubit realizing process-variation-robust SWAP gate operation

Hidehiro Asai, Shota IIZUKA, Tohru Mogami, Junichi Hattori, Koichi Fukuda, Tsutomu Ikegami, Kimihiko Kato, Hiroshi Oka, Takahiro Mori

Japanese Journal of Applied Physics 62({SC}) 2023年4月1日
Spectral variation analysis of integrated silicon photonics devices by using optical wafer probing

Tsuyoshi Horikawa, Tohru Mogami

ICICDT 2018 - International Conference on IC Design and Technology, Proceedings 161-164 2018年6月27日査読有り
Extraction of SOI thickness deviation based on resonant wavelength analysis for silicon photonics devices

Tsuyoshi Horikawa, Daisuke Shimura, Hiroyuki Takahashi, Jun Ushida, Yohei Sobu, Akemi Shiina, Masatoshi Tokushima, Seok Hwan Jeong, Keizo Kinoshita, Tohru Mogami

2017 IEEE SOI-3D-Subthreshold Microelectronics Unified Conference, S3S 2017 2018-March 1-3 2018年3月7日査読有り
Advanced devices and packaging of Si-photonics-based optical transceiver for optical interconnection

K. Kurata, K. Yashiki, J. Fujikata, T. Honkawa, K. Kinoshita, J. Ushida, M. Tokushima, Y. Suzuki, D. Okamoto, S. Takahashi …

Technical Digest - International Electron Devices Meeting, IEDM 34.4.1-34.4.4 2018年1月23日
A 300-mm Silicon Photonics Platform for Large-Scale Device Integration

Horikawa, T., Shimura, D., Okayama, H., Jeong, S.-H., Takahashi, H., Ushida, J., Sobu, Y., Shiina, A., Tokushima, M., Kinoshita, K. …

IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics 24(4) 2018年査読有り
1.2 Tbps/cm² Enabling Silicon Photonics IC Technology Based on 40-nm Generation Platform

Mogami, T., Horikawa, T., Kinoshita, K., Hagihara, Y., Ushida, J., Tokushima, M., Fujikata, J., Takahashi, S., Shimizu, T., Ukita, A. …

Journal of Lightwave Technology 36(20) 2018年査読有り
High-performance Si optical modulator with strained p-SiGe layer and its application to 25 Gbps optical transceiver

Junichi Fujikata, Keizo Kinoshita, Jaehoon Han, Tsuyoshi Horikawa, Shigeki Takahashi, Kenichiro Yashiki, Mitsuru Kurihara, Yasuhiko Hagihara, Mitsuru Takenaka, Takahiro Nakamura …

14th International Conference on Group IV Photonics, GFP 2017 25-26 2017年10月24日査読有り
Spectral variation analysis for silicon grating couplers fabricated on a 300-mm SOI wafer

Tsuyoshi Horikawa, Daisuke Shimura, Jun Ushida, Yohei Sobu, Akemi Shiina, Masatoshi Tokushima, Seok Hwan Jeong, Keizo Kinoshita, Tohru Mogami

14th International Conference on Group IV Photonics, GFP 2017 145-146 2017年10月24日査読有り
Resonant Wavelength Variation Modelling for Microring Resonators based on Fabrication Deviation Analysis

Tsuyoshi Horikawa, Daisuke Shimura, Hiroyuki Takahashi, Jun Ushida, Yohei Sobu, Akemi Shiina, Masatoshi Tokushima, Seok Hwan Jeong, Keizo Kinoshita, Tohru Mogami

European Conference on Optical Communication, ECOC 2017-September 1-3 2017年9月21日査読有り
高性能シリコン光変調器・ゲルマニウム受光器の開発と光集積回路への適用

藤方潤一, 竹中充, 最上徹, 蔵田和彦, 中村隆宏

応用物理学会学術講演会講演予稿集 2017.2 1058-1058 2017年8月25日
High-performance silicon photonics platform for low-power photonic integrated circuits

Tohru Mogami, Tsuyoshi Horikawa, Keizo Kinoshita

Proceedings of the 24th International Conference on Mixed Design of Integrated Circuits and Systems, MIXDES 2017 17-18 2017年8月8日査読有り
High density optical and electrical interfaces for chip-scale silicon photonic receiver

Koichi Takemura, Yasuhiro Ibusuki, Akio Ukita, Mitsuru Kurihara, Keizo Kinoshita, Daisuke Okamoto, Junichi Fujikata, Kenichiro Yashiki, Yasuyuki Suzuki, Tsuyoshi Horikawa …

2017 International Conference on Electronics Packaging, ICEP 2017 250-254 2017年6月5日査読有り
Study on the effects of the Si capping layer growth conditions on the leakage current of Ge photodetector

Okumura, S., Kinoshita, K., Fujikata, J., Simoyama, T., Ono, H., Tanaka, Y., Morito, K., Horikawa, T., Mogami, T.

Japanese Journal of Applied Physics 56(10) 2017年査読有り
High-performance silicon photonics process platform for low-power photonic integrated circuits

Tohru Mogami, Suguru Akiyama, Takeshi Baba, Shigekazu Okumura, Junichi Fujikata, Tsuyoshi Horikawa, Keizo Kinoshita

2016 IEEE Silicon Nanoelectronics Workshop, SNW 2016 216-217 2016年9月27日査読有り
The impacts of fabrication error in Si wire-waveguides on spectral variation of coupled resonator optical waveguides

Horikawa, T., Shimura, D., Jeong, S.-H., Tokushima, M., Kinoshita, K., Mogami, T.

Microelectronic Engineering 156 2016年査読有り
High-performance optical waveguide devices using 300mm Si photonics platform

Tohru Mogami, Tsuyoshi Horikawa, Keizo Kinoshita, Hironori Sasaki, Ken Morito, Kazuhiko Kurata

Microelectronic Engineering 156 2016年査読有り
Low-loss silicon wire waveguides for optical integrated circuits

Tsuyoshi Horikawa, Tsuyoshi Horikawa, Daisuke Shimura, Tohru Mogami

MRS Communications 6(1) 1-7 2016年査読有り
Ultra-fme Si photonics fabrication technology based on 40-nm-node CMOS process

Tsuyoshi Horikawa, Tohru Mogami

IEEE International Conference on Group IV Photonics GFP 2015- 157-158 2015年10月23日査読有り
Process Control and Monitoring in Device Fabrication for Optical Interconnection using Silicon Photonics Technology

Tsuyoshi Horikawa, Daisuke Shimura, Seok-Hwan Jeong, Masatoshi Tokushima, Keizo Kinoshita, Tohru Mogami

2015 IEEE International Interconnect Technology Conference and 2015 IEEE Materials for Advanced Metallization Conference (IITC/MAM) 277-279 2015年査読有り
A 300mm Si Photonics Platform for Multi-applications

Tohru Mogami, Tsuyoshi Horikawa, Keizo Kinoshita, Hironori Sasaki, Ken Morito, Kazuhiko Kurata

2015 OPTO-ELECTRONICS AND COMMUNICATIONS CONFERENCE (OECC) 2015年査読有り

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MISC

108

シリコンリング共振器のスペクトルを用いた導波路加工偏差解析

堀川剛, 堀川剛, 志村大輔, 高橋博之, 牛田淳, 蘇武洋平, 椎名明美, JEONG Seok-Hwan, 徳島正敏, 木下啓藏 …

電子情報通信学会大会講演論文集(CD-ROM) 2018 2018年
高集積受信回路実現に向けた300mm径SOI基板上高性能面入射型Ge受光器の開発

藤方潤一, 木下啓藏, 堀川剛, 堀川剛, 竹村浩一, 岡本大典, 高橋重樹, 今井雅彦, 野口将高, 鈴木康之 …

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 64th 2017年
シリコングレーティングカプラの波長特性ばらつきに及ぼす製造誤差の影響

堀川剛, 堀川剛, 牛田淳, 蘇武洋平, 志村大輔, 椎名明美, 徳島正敏, JEONG Seok-Hwan, 木下啓藏, 最上徹

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 77th 2016年
高精度シリコンフォトニクス配線技術と大容量光インターコネクトへの展開 (光エレクトロニクス)

田中有, 最上徹

電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 115(277) 145-148 2015年10月29日
CI-4-7 低損失・高精度シリコン光配線技術(CI-4.光配線・光実装技術の現状と展望,依頼シンポジウム,ソサイエティ企画)

堀川剛, 最上徹

電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集 2015(1) "SS-79"-"SS-80" 2015年8月25日
シリコンフォトニクス技術を用いた光インターコネクション

最上徹, 堀川剛

半導体・集積回路技術シンポジウム講演論文集 = Proceedings of Symposium on Semiconductors and Integrated Circuits Technology 79 47-50 2015年7月9日
シリコンフォトニクス光集積回路におけるプロセス課題(II)光機能素子の集積と実装

木下啓藏, 堀川剛, 堀川剛, 奥村滋一, 竹村浩一, 清水隆徳, 藤方潤一, 最上徹

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 62nd 2015年
シリコンフォトニクス光集積回路におけるプロセス課題(I)高精度加工及びプロセスモニタリング

堀川剛, 堀川剛, 志村大輔, JEONG Seok-Hwan, 徳島正敏, 木下啓藏, 最上徹

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 62nd 2015年
シリコンフォトニクス光集積回路におけるプロセス課題(IV)Ge受光器に向けた選択Ge/Siエピ成長技術開発

木下啓藏, 奥村滋一, 藤方潤一, 堀川剛, 堀川剛, 最上徹

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 76th 2015年
選択成長Siキャップ層適用低暗電流Ge受光器の開発

奥村滋一, 木下啓藏, 藤方潤一, 下山峰史, 小野英輝, 田中有, 森戸健, 堀川剛, 最上徹

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 76th 2015年
シリコンフォトニクス光集積回路におけるプロセス課題(III)低LER加工と表面清浄化による低損失導波路の形成

堀川剛, 堀川剛, 志村大輔, JEONG Seok-Hwan, 徳島正敏, 木下啓藏, 最上徹

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 76th 2015年
C-3-57 シリコンフォトニクス錮線導波路デバイスの伝搬損失と製造誤差(C3.光エレクトロニクス,一般セッション)

堀川剛, 志村大輔, 鄭錫煥, 徳島正敏, 最上徹

電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集 2014(1) 154-154 2014年9月9日
極薄膜Geシード層を適用したSi(001)基板上Ge層の低暗電流の観察

奥村滋一, 下山峰史, 小野英輝, 三浦真, 野口将高, 藤方潤一, 最上徹, 堀川剛, 田中有, 森戸健

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 75th 2014年
超高集積回路の限界と新展開 : 不純物起因のデバイス特性ばらつきと新技術開発

最上徹

化学と工業 = Chemistry and chemical industry 66(1) 12-14 2013年1月1日
C-12-29 差動増幅回路における基板雑音感度の評価(C-12.集積回路,一般セッション)

高谷聡, 坂東要志, 大川徹, 宝本敏治, 山田利夫, 早田征明, 熊代成孝, 最上徹, 永田真

電子情報通信学会総合大会講演論文集 2012(2) 101-101 2012年3月6日
微細MOSトランジスタにおけるDIBLおよび電流立上り電圧ばらつきの統計解析

Kumar Anil, 水谷朋子, 西田彰男, 竹内潔, 稲葉聡, 蒲原史朗, 寺田和夫, 最上徹, 平本俊郎

電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 111(187) 69-73 2011年8月18日
微細MOSトランジスタにおけるDIBLおよび電流立上り電圧ばらつきの統計解析

Kumar Anil, 水谷朋子, 西田彰男, 竹内潔, 稲葉聡, 蒲原史朗, 寺田和夫, 最上徹, 平本俊郎

電子情報通信学会技術研究報告. ICD, 集積回路 111(188) 69-73 2011年8月18日
Takeuchi プロットを用いた High-k/Metal-Gate MOSFET のばらつき評価

水谷朋子, Kumar Anil, 西田彰男, 竹内潔, 稲葉聡, 蒲原史朗, 寺田和夫, 最上徹, 平本俊郎

電子情報通信学会技術研究報告. ICD, 集積回路 111(188) 65-68 2011年8月18日
アナログ基本回路における基板雑音感度の解析法

高谷聡, 坂東要志, 大川徹, 早田征明, 宝本敏治, 山田利夫, 熊代成孝, 最上徹, 永田真

電子情報通信学会技術研究報告. ICD, 集積回路 111(151) 73-78 2011年7月14日
ACS-1-5 差動対トランジスタにおける基板ノイズ応答のオンチップ評価と解析(ACS-1.最新アナデジ混載LSI技術,シンポジウムセッション)

坂東要志, 高谷聡, 長谷川貴士, 大川徹, 宝本敏治, 山田利夫, 早田征明, 熊代成孝, 最上徹, 永田真

電子情報通信学会総合大会講演論文集 2011(2) "S-24"-"S-25" 2011年2月28日

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主要な書籍等出版物

半導体研究44巻、超LSI技術22、デバイスとプロセス、その12

(担当:分担執筆, 範囲:第1章、デバイス技術)

工業調査会 1998年
Fully-depleted SOI CMOS circuits and technology for ultra-low power applications : e-book

桜井貴康, Matsuzawa Akira, Douseki Takakuni

Springer (ISBN: 0387292187)

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講演・口頭発表等

119

高精度シリコンフォトニクス配線技術と大容量光インターコネクトへの展開 (光エレクトロニクス)

田中有, 最上徹

電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 2015年10月29日
Ultra-fme Si photonics fabrication technology based on 40-nm-node CMOS process

Tsuyoshi Horikawa, Tsuyoshi Horikawa, Tohru Mogami

IEEE International Conference on Group IV Photonics GFP 2015年10月23日
Ultra-fme Si photonics fabrication technology based on 40 nm-node CMOS process

Tsuyoslii Horikawa, Tsuyoslii Horikawa, Tohru Mogami

IEEE International Conference on Group IV Photonics GFP 2015年10月23日
CI-4-7 低損失・高精度シリコン光配線技術(CI-4.光配線・光実装技術の現状と展望,依頼シンポジウム,ソサイエティ企画)

堀川剛, 最上徹

電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集 2015年8月25日
C-3-57 シリコンフォトニクス錮線導波路デバイスの伝搬損失と製造誤差(C3.光エレクトロニクス,一般セッション)

堀川剛, 志村大輔, 鄭錫煥, 徳島正敏, 最上徹

電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集 2014年9月9日
High precision Si waveguide devices designed for 1.31μm and 1.55μm wavelengths on 300mm-SOI

Daisuke Shimura, Tsuyoshi Horikawa, Hideaki Okayama, Seok Hwan Jeong, Masatoshi Tokushima, Hironori Sasaki, Tohru Mogami

IEEE International Conference on Group IV Photonics GFP 2014年1月1日
Scaling effect and circuit type dependence of neutron induced single event transient

Hideyuki Nakamura, Hideyuki Nakamura, Taiki Uemura, Taiki Uemura, Kan Takeuchi, Kan Takeuchi, Toshikazu Fukuda, Toshikazu Fukuda, Shigetaka Kumashiro, Shigetaka Kumashiro, Tohru Mogami, Tohru Mogami

IEEE International Reliability Physics Symposium Proceedings 2012年9月28日
Study on Device Matrix Array structure for MOSFET g m variability evaluation

Kazuo Terada, Ryo Takeda, Katsuhiro Tsuji, Takaaki Tsunomura, Akio Nishida, Tohru Mogami

IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures 2012年5月24日
Threshold voltage variation extracted from MOSFET C-V curves by charge-based capacitance measurement

Katsuhiro Tsuji, Kazuo Terada, Ryo Takeda, Takaaki Tsunomura, Akio Nishida, Tohru Mogami

IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures 2012年5月24日
C-12-29 差動増幅回路における基板雑音感度の評価(C-12.集積回路,一般セッション)

高谷聡, 坂東要志, 大川徹, 宝本敏治, 山田利夫, 早田征明, 熊代成孝, 最上徹, 永田真

電子情報通信学会総合大会講演論文集 2012年3月6日
HiSIM-RP: A reverse-profiling based 1st principles compact MOSFET model and its application to variability analysis of 90nm and 40nm CMOS.

Hironori Sakamoto, Shigetaka Kumashiro, Shigeo Sato, Naoki Wakita, Tohru Mogami

Thirteenth International Symposium on Quality Electronic Design, ISQED 2012, Santa Clara, CA, USA, March 19-21, 2012 2012年
Proposal of a model for increased NFET random fluctuations

Kiyoshi Takeuchi, Akio Nishida, Shiro Kamohara, Toshiro Hiramoto, Tohru Mogami

Digest of Technical Papers - Symposium on VLSI Technology 2011年9月16日
Suppression of VT variability degradation induced by NBTI with RDF control

T. Tsunomura, J. Nishimura, A. Kumar, A. Nishida, S. Inaba, K. Takeuchi, T. Hiramoto, T. Hiramoto, T. Mogami

Digest of Technical Papers - Symposium on VLSI Technology 2011年9月16日
Electrical estimation of channel dopant uniformity using test MOSFET array

Kazuo Terada, Kazuhiko Sanai, Katsuhiro Tsuji, Takaaki Tsunomura, Akio Nishida, Tohru Mogami

IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures 2011年9月9日
Evaluation of MOSFET C-V curve variation using test structure for charge-based capacitance measurement

Katsuhiro Tsuji, Kazuo Terada, Ryota Kikuchi, Takaaki Tsunomura, Akio Nishida, Tohru Mogami

IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures 2011年9月9日
Variability issue and advanced process technology for variation mitigation

Tohru Mogami

Extended Abstracts of the 11th International Workshop on Junction Technology, IWJT 2011 2011年9月1日
Takeuchiプロットを用いたHigh-k/Metal-Gate MOSFETのばらつき評価(低電圧/低消費電力技術,新デバイス・回路とその応用)

水谷朋子, Kumar Anil, 西田彰男, 竹内潔, 稲葉聡, 蒲原史朗, 寺田和夫, 最上徹, 平本俊郎

電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 2011年8月18日
微細MOSトランジスタにおけるDIBLおよび電流立上り電圧ばらつきの統計解析(低電圧/低消費電力技術,新デバイス・回路とその応用)

Kumar Anil, 水谷朋子, 西田彰男, 竹内潔, 稲葉聡, 蒲原史朗, 寺田和夫, 最上徹, 平本俊郎

電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 2011年8月18日
アナログ基本回路における基板雑音感度の解析法(アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)

高谷聡, 坂東要志, 大川透, 早田征明, 宝本敏治, 山田利夫, 熊代成孝, 最上徹, 永田真

電子情報通信学会技術研究報告. ICD, 集積回路 2011年7月14日
ACS-1-5 差動対トランジスタにおける基板ノイズ応答のオンチップ評価と解析(ACS-1.最新アナデジ混載LSI技術,シンポジウムセッション)

坂東要志, 高谷聡, 長谷川貴士, 大川徹, 宝本敏治, 山田利夫, 早田征明, 熊代成孝, 最上徹, 永田真

電子情報通信学会総合大会講演論文集 2011年2月28日

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所属学協会

産業財産権

特許第4154578号半導体装置及びその製造方法

黄俐昭, 山上滋春, 李ジョンウー, 若林整, 斎藤幸重, 小椋厚志, 成廣充, 新井浩一, 武村久, 最上徹, 山本豊二, 落合幸徳
特許第3735855号半導体集積回路装置およびその駆動方法

杉林直彦, 最上徹
特開2004-193146 半導体装置及びその製造方法

黄俐昭, 山上滋春, 李ジョンウー, 若林整, 斎藤幸重, 小椋厚志, 成廣充, 新井浩一, 武村久, 最上徹, 山本豊二, 落合幸徳
特開2002-170825 半導体装置及びMIS型半導体装置並びにその製造方法

最上徹, 東郷光洋, 渡部宏治, 山本豊二, 五十嵐信行, 柴和利, 辰巳徹, 小野春彦
特許第3287403号 MIS型電界効果トランジスタ及びその製造方法

最上徹
特許第3261697号半導体装置の製造方法

最上徹
特開2001-320045 MIS型半導体装置の製造方法

最上徹
特開2001-230326 半導体集積回路装置およびその駆動方法

杉林直彦, 最上徹
特開2001-024185 半導体装置およびその製造方法

上嶋和也, 最上徹
特開2000-307010 半導体集積回路装置およびその製造方法

山本豊二, 最上徹
特開2000-243853 MIS型電界効果トランジスタ及びその製造方法

最上徹
特開2000-236028 半導体装置の製造方法

最上徹
特開2000-223588 相補MIS型半導体装置及びその製造方法

最上徹
特許第3068270号 MOS型電界効果トランジスタ及びその製造方法

最上徹
特許第3061027号半導体装置の製造方法

最上徹
特許第3044892号 MOS型電界効果トランジスタの製造方法

最上徹
特許第3033525号半導体装置の製造方法

最上徹
特許第3033521号半導体装置及びその製造方法

最上徹
特許第2978736号半導体装置の製造方法

最上徹, 辰巳徹
特許第2950408号半導体装置およびその製造方法

最上徹

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講演・口頭発表等

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