2019年4月 - 2020年3月
半導体製造ラインにおける欠陥発生予測のためのデータ処理及び、分析アプローチの探索
ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング（株）
- 担当区分
- 研究代表者
- 配分額
-
- (総額)
- 2,730,000円
- (直接経費)
- 2,481,000円
- (間接経費)
- 249,000円
- 資金種別
- 産学連携による資金
正田 備也
マサダ トモナリ (Tomonari Masada)
更新日: 02/02