2016年4月 - 2018年3月 ナノインデンテーション試験法を用いたMEMS用シリコンの機械特性評価に関する研究 国立大学法人京都大学 ゼロエミッション共同研究（提案型） 中田隼矢 担当区分 研究代表者 配分額 (総額) 250,000円 (直接経費) 0円 (間接経費) 0円 資金種別 競争的資金
