講演・口頭発表等

国際会議
2012年3月

Evaluation of Anisotropic Stress Relaxation in Mesa-shaped Strained Si Layers by FEM Simulation

International Conference on Development of Core Technologies for Green Nanoelectronics
  • M. Tomita
    • ,
  • D. Kosemura
    • ,
  • K. Usuda
    • ,
  • T. Tezuka
    • ,
  • A. Ogura
記述言語
英語
会議種別
ポスター発表
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