2013年3月 有微細構造歪SiGe層に生じる応力緩和分布のテンソル評価 第60回応用物理学会春季学術講演会 富田基裕, 小瀬村大亮, 臼田宏治, 小椋厚志 記述言語 日本語 会議種別 口頭発表(一般)