講演・口頭発表等

2013年3月

有微細構造歪SiGe層に生じる応力緩和分布のテンソル評価

第60回応用物理学会春季学術講演会
  • 富田基裕
  • ,
  • 小瀬村大亮
  • ,
  • 臼田宏治
  • ,
  • 小椋厚志

記述言語
日本語
会議種別
口頭発表(一般)