2014年9月 EBSP法を用いた微細な歪SiGeメサ構造に生じる応力緩和分布のGe濃度依存性評価 第75回応用物理学会秋季学術講演会 富田基裕, 小瀬村大亮, 臼田宏治, 小椋厚志 記述言語 日本語 会議種別 口頭発表(一般)