講演・口頭発表等

2014年9月

EBSP法を用いた微細な歪SiGeメサ構造に生じる応力緩和分布のGe濃度依存性評価

第75回応用物理学会秋季学術講演会
  • 富田基裕
  • ,
  • 小瀬村大亮
  • ,
  • 臼田宏治
  • ,
  • 小椋厚志

記述言語
日本語
会議種別
口頭発表(一般)