小野俊郎 (Toshiro Ono) - マイポータル

基本情報

学位: 工学博士(北海道大学)

J-GLOBAL ID: 200901000199285805
researchmap会員ID: 5000085039

研究キーワード

研究分野

経歴

2017年4月 - 2019年3月

弘前大学, 大学院理工学研究科, 客員研究員
2004年4月 - 2017年3月

- 弘前大学教授
1975年4月 - 2004年3月

NTTマイクロシステムインテグレーション研究所, 主幹研究員
1975年 - 2004年

Senior Research Engineer, NTT Microsystem
2004年

Professor, Hirosaki University
Integration Laboratory

学歴

- 1975年

北海道大学, 工学部, 精密工学科
- 1975年

北海道大学

受賞

1998年

機械振興協会賞
1998年

The prize of Japan society for the Promotion of Machine industry

論文

Metal-oxide-semiconductor-diode characteristics with SiO2 films formed by oxidation and sputtering using electron-cyclotron-resonance-plasma stream

K Saito, Y Jin, T Ono, M Shimada

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS 44(2) 1031-1036 2005年2月査読有り
Electron-cyclotron-resonance sputtering apparatus for multilayered optical bandpass filters applicable to wavelength division multiplexing

Y Jin, M Shimada, T Ono

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A 22(6) 2431-2436 2004年11月査読有り
Tantalum film for x-ray lithography mask deposited by electron cyclotron resonance plasma source coupled with divided microwaves

H Nishimura, T Ono, M Oda, S Matsuo

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B 22(1) 40-45 2004年1月査読有り
Real-time etching monitor using argon quadrupole mass spectrometry for 100 nm class WSiN gate fabrication

Y Jin, C Takahashi, T Ono

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A 21(5) 1589-1594 2003年9月査読有り
Fine pattern fabrication of alpha-type Ta on a membrane for X-ray mask absorber using ECR ion stream etching

T Tsuchizawa, C Takahashi, M Shimada, S Uchiyama, T Ono, M Oda

MICROELECTRONIC ENGINEERING 53(1-4) 595-598 2000年6月査読有り
Tantalum and tantalum nitride films deposited by electron cyclotron resonance sputtering as barriers to copper diffusion

T Ono, T Amazawa, H Nishimura, S Matsuo

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B 17(5) 2385-2389 1999年9月査読有り
REACTIVE ION STREAM ETCHING UTILIZING ELECTRON-CYCLOTRON RESONANCE PLASMA

T ONO, M ODA, C TAKAHASHI, S MATSUO

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B 4(3) 696-700 1986年5月査読有り

MISC

MOS-diode characteristics of ultrathin Al2O3 gate dielectrics after exposure to an electron-cyclotron-resonance plasma stream

Y Jin, K Saito, M Shimada, T Ono

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B 23(4) 1480-1486 2005年7月
Low-temperature silicon oxidation with very small activation energy and high-quality interface by electron cyclotron resonance plasma stream irradiation

K Saito, Y Jin, T Ono, M Shimada

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS 43(6B) L765-L767 2004年6月
Using electron cyclotron resonance sputtering in the deposition of ultrathin Al2O3 gate dielectrics

Y Jin, K Saito, M Shimada, T Ono

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B 21(3) 942-948 2003年5月
Etching characteristics of α-type Ta film using cl₂ ECR plasma

Jpn. J. Appl. Phys. 39(9AB) L945-L947 2000年9月
Etching characteristics of alpha-type Ta film using Cl-2 electron cyclotron resonance (ECR) plasma

C Takahashi, T Tsuchizawa, H Nishimura, T Ono, M Oda

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS 39(9AB) L945-L947 2000年9月
Tantalum and tantalum nitride films deposited by electron cyclotron resonance sputter as barriers to Cu

ONO T, AMAZAWA T, NISHIMURA H, MATSUO S

J. Vac. Sci. Technol. 17(5) 2385-2389 1999年
Tantalum and tantalum nitride films deposited by electron cyclotron resonance sputter as barriers to Cu

J. Vac. Sci. Technol. 17(5) 2385-2389 1999年
導電膜形成用電子サイクロトロン共鳴プラズマ装置の開発

日本電信電話

機械振興 31(12) 66-69 1998年
SiC x-ray lithography mask fabricated by electron cyclotron resonance plasma source coupled with divided Microwaves.

J. Vac. Sci. Technol. 15(3) 736-740 1997年
Reactive ion stream etching utilizing electron cyclotron resonance plasma

J. Vac. Sci. Technol. 4(3) 696-700 1986年
HIGH CONTRAST X-RAY MASK PREPARATION

T ONO, A OZAWA

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B 2(1) 68-72 1984年

書籍等出版物

わかる機械要素設計

吉川晃, 小野俊郎, 足立勝重, 小川恒一 (担当:共著)

2008年9月
最新の超精密加工・成形技術と部品化プロセス技術

技術情報協会 2001年
精密加工実用便覧

日刊工業社 2000年

担当経験のある科目(授業)

所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

医用システム開発

2006年 - 2011年

小野俊郎
キャパシタ用高誘電体薄膜の形成技術

2004年 - 2011年
内視鏡医療トレーニングのための括約筋をもつアクティブ臓器モデルの開発

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究 2009年 - 2010年

牧野英司, 小野俊郎, 笹川和彦, 峯田貴
ECRスパッタ法による酸窒化誘電体薄膜の低温形成と高品質化プロセスの研究

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2008年 - 2010年

小野俊郎, 豊田宏, 福田幸夫
ナノ多層膜-ヘテロ磁区誘起構造を用いた極低磁場駆動磁歪素子の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2005年 - 2007年

岡崎禎子, 古屋泰文, 小野俊郎
マイクロマシン

2004年 - 2007年
Micro-Electro-Mechanical-Systems

2004年 - 2007年

小野俊郎

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学歴

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論文

MISC

書籍等出版物

担当経験のある科目(授業)

所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

産業財産権

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