MISC

2018年3月12日

基板形状援用斜め蒸着法により作製したサブミクロンSiコラムのクリープ特性

日本機械学会関西支部定時総会講演会講演論文集

小西健太
近藤俊之
平方寛之
箕島弘二

巻: 93rd
号
開始ページ: 154‐156
終了ページ
記述言語: 日本語
掲載種別

リンク情報

J-GLOBAL: https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201802249904626560
URL: http://jglobal.jst.go.jp/public/201802249904626560

ID情報

J-Global ID : 201802249904626560

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