特許権 振動型半導体センサ及びその製造方法 株式会社豊田中央研究所 船橋 博文, 土屋 智由, 坂田 二郎, 景山 恭行, 藤塚 徳夫 出願番号 特願平10-239496 出願日 1998年8月11日 公開番号 特開2000-055931 公開日 2000年2月25日 特許番号/登録番号 特許第3376925号 登録日 2002年12月6日 発行日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=200903095560345107 ID情報 J-Global ID : 200903095560345107
