MISC

査読有り

2006年10月5日

A differential capacitive three-axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes

Proc Sens Symp Sens Micromachines Appl Syst

HAMAGUCHI Hiroyuki
SUGANO Koji
TSUCHIYA Toshiyuki
TABATA Osamu

巻: 23rd
号
開始ページ: 471
終了ページ: 476
記述言語: 英語
掲載種別

リンク情報

J-GLOBAL: https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=200902242282749802

ID情報

J-Global ID : 200902242282749802

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