2009年11月5日
MEMS等価回路ジェネレータの開発
電子情報通信学会技術研究報告
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- 巻
- 109
- 号
- 278(SDM2009 135-150)
- 開始ページ
- 29
- 終了ページ
- 32
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- 出版者・発行元
- 一般社団法人電子情報通信学会
CMOS-MEMS(micro electromechanical system)デバイスの設計効率向上のために「等価回路ジェネレータ」と名づけた設計プラットフォームを開発した.等価回路ジェネレータはMEMSデバイスの等価回路モデル化もとづいている.これにより回路設計技術者は検出回路や駆動回路を含めた回路システム全体での回路シミュレーションを行うことが可能となる.本稿ではMEMSデバイスの機械的,電気的動作特性を表す等価回路導出手法について述べる.本手法では,エネルギー関数を用いて等価回路を導出する.本手法検証のために静電型櫛歯アクチュエータでの共振特性の実測比較を行った.本手法により導出した等価回路で回路シミュレーションを行い得られたアドミタンス特性は実測値とよく一致した.
- リンク情報
- ID情報
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- ISSN : 0913-5685
- J-Global ID : 201002215939221394
- CiNii Articles ID : 110007504679
- CiNii Books ID : AN10013254