2010年6月1日
MEMS2010報告
電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society
- 巻
- 130
- 号
- 6
- 開始ページ
- 255
- 終了ページ
- 255
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- DOI
- 10.1541/ieejsmas.130.255
- 出版者・発行元
- The Institute of Electrical Engineers of Japan
- リンク情報
- ID情報
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- DOI : 10.1541/ieejsmas.130.255
- ISSN : 1341-8939
- CiNii Articles ID : 10026383203
- CiNii Books ID : AN1052634X