査読有り 2007年 Effect of surface oxidation on mechanical properties of single crystalline silicon Proceedings of The 24th Sensor Symposium Miyamoto Kenji, Kouji Sugano, Toshiyuki Tsuchiya, Osamu Tabata 開始ページ 165 終了ページ 168 記述言語 英語 掲載種別 エクスポート BibTeX RIS