MISC

査読有り
2007年

Effect of surface oxidation on mechanical properties of single crystalline silicon

Proceedings of The 24th Sensor Symposium
  • Miyamoto Kenji
  • ,
  • Kouji Sugano
  • ,
  • Toshiyuki Tsuchiya
  • ,
  • Osamu Tabata

開始ページ
165
終了ページ
168
記述言語
英語
掲載種別

エクスポート
BibTeX RIS