2006年12月 高温薄膜引張試験機の試作および単結晶シリコン薄膜の物性評価 第50回日本学術会議材料工学連合講演会 池田 哲郎, 菅野 公二, 土屋 智由, 田畑 修 記述言語 日本語 掲載種別 エクスポート BibTeX RIS