2010年9月 顕微ラマン分光を用いた単結晶シリコン振動子の局所応力解析 日本機械学会2010年度年次大会 谷山 彰, 平井 義和, 菅野 公二, 田畑 修, 池原 毅, 土屋 智由 記述言語 日本語 掲載種別 エクスポート BibTeX RIS