2010年10月
MNM-P11-3 自己変位検出型静電櫛歯等価回路を用いた振動型ジャイロの動作解析(P11 電気等価回路から考えるMEMS設計手法)
マイクロ・ナノ工学シンポジウム
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- 巻
- 2010
- 号
- 2
- 開始ページ
- 141
- 終了ページ
- 142
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
土屋 智由
ツチヤ トシユキ (Toshiyuki Tsuchiya)
更新日: 02/28