1999年3月
薄膜の引張強度評価 (特集 マイクロセンサ用薄膜の機械的物性評価と解析)
豊田中央研究所R&Dレビュ-
- 巻
- 34
- 号
- 1
- 開始ページ
- 25
- 終了ページ
- 30
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- 出版者・発行元
- 豊田中央研究所
- リンク情報
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- CiNii Articles
- http://ci.nii.ac.jp/naid/40004113789
- CiNii Books
- http://ci.nii.ac.jp/ncid/AN00176219
- URL
- http://id.ndl.go.jp/bib/4679691
- ID情報
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- ISSN : 0385-1508
- CiNii Articles ID : 40004113789
- CiNii Books ID : AN00176219