塚本 健夫
ツカモト タケオ (Takeo Tsukamoto)
更新日: 01/08
基本情報
研究キーワード
1研究分野
4主要な経歴
3主要な学歴
2論文
14-
Materials Evaluation 79(6) 631-640 2021年6月1日 査読有り責任著者
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画像ラボ 30(1) 30-37 2019年1月 筆頭著者
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Japanese Journal of Applied Physics 55(4S) 04EK04-04EK04 2016年3月14日 査読有り筆頭著者
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Japanese Journal of Applied Physics 55(1) 015201-015201 2015年12月3日 査読有り筆頭著者
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Proc. Intl. Conf. Solid-State Devices and Materials 926-927 2015年 筆頭著者責任著者
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Applied Physics Letter 63(8) 1050-1052 1993年 査読有り責任著者
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真空マイクロエレクトロニクス調査報告I、日本電子工業振興協会, ９２－基－４ 47-51 1992年
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4th Intl. Vac. Microelectron. Conf. 174-175 1991年
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4th Intl. Vac. Microelectron. Conf. 112-113 1991年 筆頭著者責任著者
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Japanese Journal of Applied Physics 29(10) 2292-2294 1990年10月 査読有り責任著者
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3rd Intl. Conf. on Vacuum Microelectronics 1990年 筆頭著者責任著者
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International MicroProcess Conference 1990年 責任著者
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Inst. Phys. Conf. Ser. No.99, Section 3, Int. Conf. on Vac. Microelectron. 65-68 1989年 筆頭著者責任著者
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Mat. Res. Soc 157 1989年 責任著者
講演・口頭発表等
4-
次世代真空エレクトロニクス技術部会
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第71回応用物理学会春季学術講演会
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非破壊検査総合シンポジウム 2023年5月26日
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第２９ 回マイクロエレクトロニクス研究会
所属学協会
1-
1989年11月