講演・口頭発表等

2019年9月4日

Molecular Dynamics Simulation of Thermal Chemical Vapor Deposition for Hydrogenated Amorphous Silicon on Si (100) Substrate by Reactive Force-Field

2019 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices
  • N. Uene
  • ,
  • T. Mabuchi
  • ,
  • M. Zaitsu
  • ,
  • S. Yasuhara
  • ,
  • T. Tokumasu

開催年月日
2019年9月4日 - 2019年9月6日
記述言語
英語
会議種別
ポスター発表