上根直也 (Naoya Uene) - マイポータル

基本情報

所属: 東北大学流体科学研究所特任助教（常勤）

学位: 博士（工学）(2023年3月東北大学)

連絡先: naoya.uene.b4tohoku.ac.jp
研究者番号: 50991022
ORCID ID: https://orcid.org/0000-0001-6276-1372
J-GLOBAL ID: 202001020839088423
researchmap会員ID: R000013917

外部リンク: http://www.ifs.tohoku.ac.jp/nanoint/jpn/members/uene/index.html

研究キーワード

研究分野

経歴

2023年4月 - 2024年4月

東北大学, 流体科学研究所, 特任助教
2024年1月 - 2024年3月

アドバンスソフト株式会社, 研究顧問
2023年1月 - 2023年3月

アイントホーフェン工科大学, 応用物理学科, 滞在研究員
2020年4月 - 2023年3月

独立行政法人日本学術振興会 (特別研究員（DC1）)
2021年9月 - 2022年3月

ペンシルベニア州立大学, 機械工学科, 滞在研究員

学歴

2020年4月 - 2023年3月

東北大学, 大学院工学研究科, ファインメカニクス専攻（博士課程）
2018年4月 - 2020年3月

東北大学, 大学院工学研究科, ファインメカニクス専攻（修士課程）
2016年4月 - 2018年3月

米子工業高等専門学校, 専攻科生産システム工学専攻
2011年4月 - 2016年3月

米子工業高等専門学校, 機械工学科

受賞

2018年7月

第4回東北大学若手研究者アンサンブルワークショップ優秀ポスター賞, 東北大学研究所長会議

上根直也
2017年12月

最優秀発表賞, International Student Conference 2017（平成29年度海外協定校合同研究発表会 in Singapore）

上根直也
2017年11月

The Best Research Award, The 12th International Symposium on Advanced Science and Technology in Experimental Mechanics

N. Uene, H. Takeuchi, Y. Hayamizu, T. Gonda, S. Morita, S. Ohtsuka, K. Yamamoto
2016年11月

第14回流れの夢コンテスト一樹賞, 一般社団法人日本機械学会流体工学部門

米子高専早水研究室(応募代表者:上根直也)
2016年9月

Encouragement Poster Award, The 11th International Symposium on Advanced Science and Technology in Experimental Mechanics

N. Uene, Y. Hayamizu, H. Takeuchi, T. Gonda
2016年3月

優秀賞（教科学習）, 米子工業高等専門学校

上根直也
2016年3月

優秀賞（課外活動）, 米子工業高等専門学校

上根直也
2016年3月

第46回学生員卒業研究発表講演会優秀発表賞, 一般社団法人日本機械学会中国四国支部

上根直也
2016年3月

武藤栄次優秀学生賞, 公益財団法人日本設計工学会

上根直也

論文

Reactive Force Field Molecular Dynamics Studies of the Initial Growth of Boron Nitride Using BCl3 and NH3 by Atomic Layer Deposition

Naoya Uene, Takuya Mabuchi, Masaru Zaitsu, Shigeo Yasuhara, Adri C. T. van Duin, Takashi Tokumasu

The Journal of Physical Chemistry C 128(3) 1075-1086 2024年1月25日査読有り筆頭著者責任著者
Molecular analysis of hydrogen-bond structures in polymer electrolyte membrane in polymer electrolyte fuel cells below freezing temperatures

Hiroki Nishizawa, Takuya Mabuchi, Naoya Uene, Takashi Tokumasu

ECS Transactions 112(4) 285-290 2023年9月29日
Reactive Force Field Molecular Dynamics Study of the Effects of Gaseous Species on the Composition and Crystallinity of Silicon–Germanium Thin Films

Naoya Uene, Takuya Mabuchi, Masaru Zaitsu, Shigeo Yasuhara, Takashi Tokumasu

Crystal Growth & Design 23(7) 4990-5000 2023年5月26日査読有り筆頭著者責任著者
Growth mechanism study of boron nitride atomic layer deposition by experiment and density functional theory

N. Uene, T. Mabuchi, M. Zaitsu, Y. Jin, S. Yasuhara, T. Tokumasu

Computational Materials Science 217 111919 2023年1月査読有り筆頭著者責任著者
Reactive force-field molecular dynamics simulation for the surface reaction of SiH (x = 2–4) species on Si(1 0 0)-(2 × 1):H surfaces in chemical vapor deposition processes

Naoya Uene, Takuya Mabuchi, Masaru Zaitsu, Shigeo Yasuhara, Takashi Tokumasu

Computational Materials Science 204 111193-111193 2022年3月査読有り筆頭著者責任著者
Reactive Force-Field Molecular Dynamics Study of the Effect of Gaseous Species on SiliconGermanium Alloy Growth by PECVD Techniques

Naoya Uene, Takuya Mabuchi, Masaru Zaitsu, Shigeo Yasuhara, Takashi Tokumasu

International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices, SISPAD 2021-September 238-241 2021年9月27日査読有り筆頭著者責任著者
CVD/ALD 薄膜成長における材料/プロセスと構造/組成の最適化に向けた反応性力場分子動力学法および密度汎関数法による数値シミュレーション研究

上根直也, 馬渕拓哉, Jin Yong, 財津優, 安原重雄, 徳増崇

シリコンテクノロジー 229 6-12 2021年7月招待有り筆頭著者責任著者
Reactive Force-Field Molecular Dynamics Study of SiGe Thin Film Growth in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes

Naoya Uene, Takuya Mabuchi, Masaru Zaitsu, Shigeo Yasuhara, Takashi Tokumasu

ECS Meeting Abstracts {MA}2020-02(24) 1717-1717 2020年11月23日
反応性力場分子動力学計算および量子化学計算を活用したCVD/ALD薄膜堆積機構の解析

徳増崇, 上根直也, 馬渕拓哉, 財津優, 安原重雄

信学技報 120(239) 41-46 2020年11月招待有り
Reactive Force-Field Molecular Dynamics Study of the Silicon-Germanium Deposition Processes by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

N. Uene, T. Mabuchi, M. Zaitsu, S. Yasuhara, T. Tokumasu

2020 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD) 2020-September 105-108 2020年9月23日査読有り筆頭著者責任著者
Reactive Force-Field Molecular Dynamics Study of SiGe Thin Film Growth in Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Processes

N. Uene, T. Mabuchi, M. Zaitsu, S. Yasuhara, T. Tokumasu

ECS Transactions 98(5) 177-184 2020年9月査読有り筆頭著者責任著者
10

化学気相堆積法における表面反応機構の分子動力学的解析

上根直也

2020年3月
Study of reflection models of gas molecules on water adsorbed surfaces in high-speed flows

Naoya UENE, Hideki TAKEUCHI, Yasutaka HAYAMIZU, Takashi TOKUMASU

Journal of Fluid Science and Technology 15(1) JFST0005-JFST0005 2020年1月査読有り筆頭著者責任著者
Molecular Dynamics Simulation of Thermal Chemical Vapor Deposition for Hydrogenated Amorphous Silicon on Si (100) Substrate by Reactive Force-Field

N. Uene, T. Mabuchi, M. Zaitsu, S. Yasuhara, T. Tokumasu

Proceedings of the 2019 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices 2019-September 2019年9月査読有り筆頭著者責任著者
Scattering Properties of Gas Molecules on Water Adsorbed Surfaces in High Knudsen Number Flows

N. Uene, H. Takeuchi, Y. Hayamizu, T. Tokumasu

Proceedings of the 21st Australasian Fluid Mechanics Conference 2018年12月査読有り筆頭著者責任著者
Scattering Behaviors of Gas Molecules on Water Adsorbed Surfaces

N. Uene, H. Takeuchi, Y. Hayamizu

Proceedings of the 9th JSME-KSME Thermal and Fluids Engineering Conference 2017年10月査読有り筆頭著者

MISC

CVDプロセスにおける表面反応機構の分子動力学解析

上根直也, 馬渕拓哉, 財津優, 安原重雄, 徳増崇

日本伝熱シンポジウム講演論文集(CD-ROM) 57th 2020年
とある高専生の夢コン体験記

上根直也

日本機械学会流体工学部門ニューズレター流れ 2016年2月招待有り筆頭著者

講演・口頭発表等

フッ化物イオンによる二酸化ケイ素エッチングの反応性分子動力学解析

後藤星南, 上根直也, 徳増崇

2024年第71回応用物理学会春季学術講演会 2024年3月25日
反応性力場分子動力学法を用いたシリコン酸化膜中のシリコンナノ結晶形成プロセスの解析

田村玄汰, 上根直也, 後藤和泰, 宇佐美徳隆, 徳増崇

2024年第71回応用物理学会春季学術講演会 2024年3月25日
IV族半導体材料の熱酸化プロセスにおける酸化膜厚の温度依存性への反応性力場分子動力学解析

関口賢太, 上根直也, 大堀大介, 遠藤和彦, 徳増崇

2024年第71回応用物理学会春季学術講演会 2024年3月24日
3

A ReaxFF Molecular Dynamics (MD) Simulations : A powerful tool to analyze an atomic behavior in semiconductor process - How does an inhibitor adsorb and work in Area-Selective ALD? -

Naoya Uene

2024年2月19日招待有り
7

A ReaxFF Study for Hacac Interaction on Al2O3 Surface in Area-Selective ALD

Naoya Uene, Ilker Tezsevin, Wilhelmus M, M. Kessels, Adriaan J, M. Mackus, Adri van Duin, Takashi Tokumasu

AVS 69th International Symposium & Exhibition 2023年11月7日
反応性力場分子動力学法を用いたIV族半導体材料の酸化膜形成における温度依存性解析

関口賢太, 上根直也, 大堀大介, 遠藤和彦, 徳増崇

第14回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2023年11月6日
太陽電池保護膜における熱処理中の結晶化機構の反応性力場分子動力学的解析

田村玄汰, 上根直也, 後藤和泰, 宇佐美徳隆, 徳増崇

第14回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2023年11月6日
Molecular Dynamics Analysis of Lithium-Ion Transport Properties in All-Solid-State Lithium-Ion Battery

Zhehao Zhang, Naoya Uene, Shengfeng Huang, Takuya Mabuchi, Takashi Tokumasu

244th ECS Meeting 2023年10月
Multi-Scale Simulations of Gas-Phase Particles Generated in Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition Processes.

Yusuke Kosaki, Naoya Uene, Takuya Mabuchi, Takashi Tokumasu

244th ECS Meeting 2023年10月
Molecular Analysis of the Internal State of Polymer Electrolyte Membrane in Polymer Electrolyte Fuel Cells below Freezing Temperature

Hiroki Nishizawa, Naoya Uene, Takuya Mabuchi, Takashi Tokumasu

244th ECS Meeting 2023年10月
26

Semiconductor Process Simulation Studies by ReaxFF Molecular Dynamics Methods: Applications for Chemical Vapor Deposition and Atomic Layer Deposition Processes

Naoya Uene

Special seminar 2023年7月13日 Professor Yiming Li, Professor Seiji Samukawa 招待有り
Numerical simulation study for analysis of hydrogenated amorphous silicon/crystalline silicon heterostructure by Reactive Molecular Dynamics Method

Kazuma Inoue, Naoya Uene, Kazuhiro Gotoh, Yasuyoshi Kurokawa, Takashi Tokumasu, Noritaka Usami

50th IEEE Photovoltaic Specialists Conference (PVSC 50) 2023年6月
氷点下における固体高分子形燃料電池高分子電解質膜の内部状態の分子論的解析

西澤裕紀, 上根直也, 馬渕拓哉, 徳増崇

第 30 回燃料電池シンポジウム 2023年5月25日
水素化アモルファスシリコン/結晶シリコンヘテロ構造の解析に向けた反応性力場分子動力学法による数値シミュレーション研究

井上和磨, 上根直也, 後藤和泰, 黒川康良, 徳増崇, 宇佐美徳隆

第70回応用物理学会春季学術講演会 2023年3月17日
反応分子動力学法を用いたCVD/ALD法における成膜表面反応現象の分子論的解析

上根直也, 馬渕拓哉, Jin Yong, 財津優, 安原重雄, 徳増崇

第１回ARIM量子・電子マテリアル領域セミナー ALD（原子層堆積）による成膜技術 2022年12月22日招待有り
Atomic-scale PECVD Process Simulations at Si / Silicon-Germanium Interface by Reactive Force-Field Molecular Dynamics

N. Uene, T. Mabuchi, Y. Jin, M. Zaitsu, S. Yasuhara, T. Tokumasu

The 33rd International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-33) 2022年11月16日
プラズマ援⽤原⼦層堆積プロセスで⽣じる気相粒⼦の反応散乱モデル構築に向けた反応性⼒場分⼦動⼒学シミュレーション

小﨑祐助, 上根直也, 馬渕拓哉, 徳増崇

第13回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2022年11月15日
Effect of Fining Hydrogen Source and Electrode Material for Ammonia Production with Plasma Method

S. Hiramatsu, R. Shiraishi, Y. Hayamizu, N. Sehara, N. Uene, T. Tokumasu

19th International Conference on Flow Dynamics 2022年11月9日
Reactive Force-field Molecular Dynamics and DFT Simulations for the Thin Film Growth by CVD and ALD Techniques

T. Tokumasu, N. Uene, T. Mabuchi, M. Zaitsu, S. Yasuhara

9th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces (ISCSI-IX) 2022年9月6日招待有り
Experimental and ReaxFF MD Studies for Boron Nitride ALD Growth from BCl3 and NH3 Precursors

N. Uene, T. Mabuchi, Y. Jin, M. Zaitsu, S. Yasuhara, Adri van Duin, T. Tokumasu

The AVS 22nd International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2022) featuring the 9th International Atomic Layer Etching Workshop (ALE 2022) 2022年6月27日

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所属学協会

2020年4月 - 現在

日本伝熱学会
2015年3月 - 現在

日本機械学会

共同研究・競争的資金等の研究課題

サブナノチップ開発に向けた反応性力場分子動力学法を用いた選択性原子層堆積プロセスシミュレーション

公益財団法人村田学術振興財団海外派遣援助 2023年1月 - 2023年3月

上根直也
分子流体工学および反応工学の融合解析によるCVD/ALD法の成膜メカニズム解明

日本学術振興会科学研究費助成事業特別研究員奨励費特別研究員奨励費 2020年4月 - 2023年3月

上根直也
化学気相堆積および原子層堆積における堆積機構の反応性力場分子動力学的研究

独立行政法人日本学術振興会若手研究者海外挑戦プログラム 2021年9月 - 2022年3月

上根直也

社会貢献活動

米子高専生のための進路研究セミナー

出演

メディア総研株式会社 2022年1月23日
PhDCインターンシップセミナー

出演, パネリスト

東北大学高等大学院機構大学院改革推進センター博士人材育成ユニット（PhDC) 2021年6月24日
17

イノベーション創発塾第7期生の歩み【2020年度活動報告】

企画, 運営参加・支援, 報告書執筆

東北大学高度教養教育・学生支援機構キャリア支援センター 2021年3月31日
米子高専進路研究セミナー

出演

米子工業高等専門学校 2021年1月23日
米子高専生のための進路研究セミナー

出演

米子工業高等専門学校 2020年1月11日
第53回パリ・エアショー

運営参加・支援, 実演

Exhibition Center of Le Bourget Airport 2019年6月17日 - 2019年6月20日
米子高専生のための進路研究セミナー

出演

米子工業高等専門学校 2019年1月12日

メディア報道

第4回フューチャーとっとり奨学金授与式

山陰放送，中海テレビ放送 2022年6月15日テレビ・ラジオ番組

その他

Ab Initio and Molecular Dynamics School講師

2024年2月 - 2024年3月

2024年2月29日～3月7日に東北大学にて行われたAb Initio and Molecular Dynamics Schoolに講師として参加し，LAMMPSおよびOVITOに関する講義を実施．
31

Ab Initio and Molecular Dynamics School 講師

2023年3月

2023年3月10日～3月18日にテッサロニキ・アリストテレス大学（ギリシャ）にて行われたAb Initio and Molecular Dynamics Schoolに講師として参加し，LAMMPSおよびOVITOに関する講義を実施．
フューチャー鳥取奨学金

2022年6月
インターンシップ住友電装株式会社

2020年9月 - 2020年10月

電線・材料研究室において，2ヶ月間の就業体験．
公益財団法人ウシオ財団奨学生

2018年4月 - 2020年3月

2018～2020年度の期間において，奨学生として採用（給付額月12万円）
インターンシップ Institut National des Sciences Appliquèes de Lyon (INSA Lyon : France)

2019年6月 - 2019年7月

Materials Science and Engineering（MATEIS）において，1.5ヶ月間の研究活動．

上根直也

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経歴

学歴

受賞

論文

MISC

講演・口頭発表等

所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

社会貢献活動

メディア報道

その他

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