上杉謙次郎 (Kenjiro Uesugi) - マイポータル

基本情報

所属: 三重大学みえの未来図共創機構助教
: (兼任)大学院地域イノベーション学研究科助教

学位: 博士(学術)(2019年9月三重大学)

研究者番号: 40867305
J-GLOBAL ID: 202001000430143367
researchmap会員ID: R000011650

外部リンク: https://www.opt.elec.mie-u.ac.jp/

研究キーワード

研究分野

経歴

2022年4月 - 現在

三重大学みえの未来図共創機構助教
2019年9月 - 現在

三重大学大学院地域イノベーション学研究科助教
2019年9月 - 2022年3月

三重大学地域創生戦略企画室助教
2018年7月 - 2019年8月

三重大学地域創生戦略企画室研究員
2018年1月 - 2018年6月

三重大学地域イノベーション推進機構地域戦略センター研究員
2013年4月 - 2017年12月

株式会社東芝研究開発センター

学歴

2011年4月 - 2013年3月

東京大学大学院新領域創成科学研究科物質系専攻
2007年4月 - 2011年3月

東京大学工学部物理工学科

受賞

2022年3月

2021年度優秀論文・著作・作品賞三重大学

上杉謙次郎, 林侑介, 正直花奈子, 三宅秀人
2022年1月

2021年電子・情報・システム部門技術委員会奨励賞高温アニールしたスパッタ成膜AlNテンプレートを用いたUV-C LEDの開発一般社団法人電気学会

上杉謙次郎, 正直花奈子, 窪谷茂幸, 肖世玉, 三宅秀人
2019年4月

The 7th International Conference on Light Emitting Devices and Their Industrial Applications (LEDIA2019), Young Researcher’s Paper Award Threading Dislocation Reduction of Sputter-Deposited AlN Templates for Deep-Ultraviolet Light-Emitting Device Applications OPTICS & PHOTONICS International Council

Kenjiro Uesugi, Yusuke Hayashi, Kanako Shojiki, Hideto Miyake
2019年3月

第79回応用物理学会秋季学術講演会講演奨励賞高温アニールしたAlNのクラック抑制と高品質化応用物理学会

上杉謙次郎, 林侑介, 正直花奈子, 永松謙太郎, 吉田治正, 三宅秀人
2018年7月

第10回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会研究奨励賞 6H-SiC基板上におけるAlN周期構造の作製と評価日本結晶成長学会ナノエピ分科会

上杉謙次郎, 正直花奈子, 林侑介, 肖世玉, 永松謙太郎, 吉田治正, 三宅秀人

論文

263 nm wavelength UV-C LED on face-to-face annealed sputter-deposited AlN with low screw- and mixed-type dislocation densities

Kenjiro Uesugi, Shigeyuki Kuboya, Kanako Shojiki, Shiyu Xiao, Takao Nakamura, Masataka Kubo, Hideto Miyake

Applied Physics Express 15(5) 055501-055501 2022年5月1日査読有り筆頭著者責任著者
Fabrication of AlN templates by high-temperature face-to-face annealing for deep UV LEDs

Kenjiro Uesugi, Hideto Miyake

Japanese Journal of Applied Physics 60(12) 120502-120502 2021年12月2日査読有り招待有り筆頭著者責任著者
Extremely high internal quantum efficiency of AlGaN-based quantum wells on face-to-face annealed sputter-deposited AlN templates

Hideaki Murotani, Atsushi Fujii, Ryota Oshimura, Takafumi Kusaba, Kenjiro Uesugi, Hideto Miyake, Yoichi Yamada

Applied Physics Express 14(12) 122004-122004 2021年12月1日査読有り
Thermal strain analysis considering in-plane anisotropy for sputtered AlN on c- and a-plane sapphire under high-temperature annealing

Yusuke Hayashi, Kenjiro Uesugi, Kanako Shojiki, Tetsuya Tohei, Akira Sakai, Hideto Miyake

AIP Advances 11(9) 095012-095012 2021年9月1日査読有り
Effect of MOVPE growth conditions on AlN films on annealed sputtered AlN templates with nano-striped patterns

Yukino Iba, Kanako Shojiki, Shigeyuki Kuboya, Kenjiro Uesugi, Shiyu Xiao, Hideto Miyake

Journal of Crystal Growth 570 126237-126237 2021年9月査読有り
Effect of the Sputtering Deposition Conditions on the Crystallinity of High-Temperature Annealed AlN Films

Kenjiro Uesugi, Kanako Shojiki, Shiyu Xiao, Shigeyuki Kuboya, Hideto Miyake

Coatings 11(8) 956-956 2021年8月10日査読有り招待有り筆頭著者責任著者
High Electron Mobility AlN on Sapphire (0001) with a Low Dislocation Density Prepared via Sputtering and High‐Temperature Annealing

Yuya Sakurai, Kohei Ueno, Atsushi Kobayashi, Kenjiro Uesugi, Hideto Miyake, Hiroshi Fujioka

physica status solidi (a) 218(16) 2100074-2100074 2021年8月査読有り
Reduction of threading dislocation densities of N-polar face-to-face annealed sputtered AlN on sapphire

Kanako Shojiki, Kenjiro Uesugi, Shigeyuki Kuboya, Hideto Miyake

Journal of Crystal Growth 126309-126309 2021年8月査読有り
High-quality AlN/sapphire templates prepared by thermal cycle annealing for high-performance ultraviolet light-emitting diodes

Ding Wang, Kenjiro Uesugi, Shiyu Xiao, Kenji Norimatsu, Hideto Miyake

Applied Physics Express 14(3) 035505-035505 2021年3月1日査読有り
High‐Quality AlN Template Prepared by Face‐to‐Face Annealing of Sputtered AlN on Sapphire

Kanako Shojiki, Kenjiro Uesugi, Shigeyuki Kuboya, Takafumi Inamori, Shin Kawabata, Hideto Miyake

physica status solidi (b) 2000352-2000352 2020年11月13日査読有り
Low dislocation density AlN on sapphire prepared by double sputtering and annealing

Ding Wang, Kenjiro Uesugi, Shiyu Xiao, Kenji Norimatsu, Hideto Miyake

Applied Physics Express 13(9) 095501-095501 2020年9月1日査読有り
Crystalline quality improvement of face-to-face annealed MOVPE-grown AlN on vicinal sapphire substrate with sputtered nucleation layer

Shigeyuki Kuboya, Kenjiro Uesugi, Kanako Shojiki, Yuta Tezen, Kenji Norimatsu, Hideto Miyake

Journal of Crystal Growth 545 125722-125722 2020年9月査読有り
Annealing behaviors of vacancy-type defects in AlN deposited by radio-frequency sputtering and metalorganic vapor phase epitaxy studied using monoenergetic positron beams

Akira Uedono, Kanako Shojiki, Kenjiro Uesugi, Shigefusa F. Chichibu, Shoji Ishibashi, Marcel Dickmann, Werner Egger, Christoph Hugenschmidt, Hideto Miyake

Journal of Applied Physics 128(8) 085704-085704 2020年8月28日査読有り
Suppression of dislocation-induced spiral hillocks in MOVPE-grown AlGaN on face-to-face annealed sputter-deposited AlN template

Kenjiro Uesugi, Kanako Shojiki, Yuta Tezen, Yusuke Hayashi, Hideto Miyake

Applied Physics Letters 116(6) 062101-062101 2020年2月10日査読有り筆頭著者責任著者
MOVPE growth of AlN films on nano-patterned sapphire substrates with annealed sputtered AlN

Yukino Iba, Kanako Shojiki, Kenjiro Uesugi, Shiyu Xiao, Hideto Miyake

Journal of Crystal Growth 532 125397-125397 2020年2月査読有り
High‐Temperature Annealing of Sputter‐Deposited AlN on (001) Diamond Substrate

Tatsuya Shirato, Yusuke Hayashi, Kenjiro Uesugi, Kanako Shojiki, Hideto Miyake

physica status solidi (b) 257(2) 1900447-1900447 2020年2月査読有り
Impact of face-to-face annealed sputtered AlN on the optical properties of AlGaN multiple quantum wells

Kanako Shojiki, Ryota Ishii, Kenjiro Uesugi, Mitsuru Funato, Yoichi Kawakami, Hideto Miyake

AIP Advances 9(12) 125342-125342 2019年12月1日査読有り
Local and anisotropic strain in AlN film on sapphire observed by Raman scattering spectroscopy

Kanako Shojiki, Yusuke Hayashi, Kenjiro Uesugi, Hideto Miyake

Japanese Journal of Applied Physics 58(SC) SCCB17-SCCB17 2019年6月1日査読有り
Improved emission intensity of UVC-LEDs from using strain relaxation layer on sputter-annealed AlN

Kentaro Nagamatsu, Xiaotong Liu, Kenjiro Uesugi, Hideto Miyake

Japanese Journal of Applied Physics 58(SC) SCCC07-SCCC07 2019年6月1日査読有り
Preparation of high-quality thick AlN layer on nanopatterned sapphire substrates with sputter-deposited annealed AlN film by hydride vapor-phase epitaxy

Shiyu Xiao, Nan Jiang, Kanako Shojiki, Kenjiro Uesugi, Hideto Miyake

Japanese Journal of Applied Physics 58(SC) SC1003-SC1003 2019年6月1日査読有り

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MISC

高温アニールしたスパッタ成膜AlNテンプレートを用いたUV-C LEDの開発

上杉謙次郎, 正直花奈子, 窪谷茂幸, 肖世玉, 三宅秀人

電気学会研究会資料. OQD = The papers of technical meeting on optical and quantum devices, IEE Japan 2021(34-38) 17-22 2021年7月20日筆頭著者責任著者
深紫外LED応用に向けた低転位密度AlNの作製

上杉謙次郎, 王丁, 正直花奈子, 窪谷茂幸, 三宅秀人

日本結晶成長学会誌 47(3) 02-1-02-10 2020年10月査読有り招待有り筆頭著者責任著者

講演・口頭発表等

Fabrication of Face-to-Face Annealed Sputter-Deposited AlN for High EQE 265 nm LEDs

Kenjiro Uesugi, Shigeyuki Kuboya, Takao Nakamura, Kanako Shojiki, Shiyu Xiao, Masataka Kubo, Hideto Miyake

5th International Workshop on UV Materials and Devices (IWUMD2022) 2022年5月26日招待有り
High-Power LED on Face-to-Face Annealed Sputter-Deposited AlN

Kenjiro Uesugi, Shigeyuki Kuboya, Takao Nakamura, Kanako Shojiki, Shiyu Xiao, Masataka Kubo, Hideto Miyake

The 10th International Conference on Light-Emitting Devices and Their Industrial Applications (LEDIA2022) 2022年4月22日招待有り
低転位密度AlNテンプレート上へのAlGaN成長と265nm発光LEDへの応用

上杉謙次郎, 正直花奈子, 肖世玉, 窪谷茂幸, 中村孝夫, 三宅秀人

2022年日本結晶成長学会特別講演会「赤﨑勇先生追悼公演会～結晶成長が描く夢の継承～」 2022年2月18日招待有り
High-power operation of DUV-LED grown on high-temperature annealed AlN templates

Kenjiro Uesugi, Shigeyuki Kuboya, Takao Nakamura, Kanako Shojiki, Shiyu Xiao, Masataka Kubo, Hideto Miyake

The 3rd International Workshop on Materials Science and Advanced Electronics Created by Singularity (IWSingularity 2022) 2022年1月13日招待有り
高温アニールAlNテンプレートを用いたUV-C LEDの開発

上杉謙次郎, 窪谷茂幸, 中村孝夫, 久保雅敬, 三宅秀人

ワイドギャップ半導体学会第4回研究会 2021年12月10日招待有り
Development of DUV-LED grown on high-temperature annealed AlN template

Kenjiro Uesugi, Ding Wang, Kanako Shojiki, Shigeyuki Kuboya, Hideto Miyake

Photonics West 2021 2021年3月6日招待有り
Fabrication of UV-C LED on face-to-face annealed sputter-deposited AlN template

Kenjiro Uesugi, Ding Wang, Kanako Shojiki, Shigeyuki Kuboya, Hideto Miyake

The 8th Asian Conference on Crystal Growth and Crystal Technology (CGCT-8) 2021年3月1日招待有り
低転位密度AlNテンプレートを用いた深紫外LEDの開発

上杉謙次郎, 王丁, 正直花奈子, 窪谷茂幸, 三宅秀人

第12回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会 2020年7月31日招待有り
低転位密度AlN膜の作製とそのテンプレート上AlGaN成長

上杉謙次郎, 王丁, 三宅秀人

日本学術振興会「結晶成長の科学と技術」第161委員会第114回研究会 2020年5月29日招待有り
スパッタ堆積AlNの高温固相成長とその基板上へのAlGaN成長

三宅秀人, 上杉謙次郎, 肖世玉, 正直花奈子

第48回結晶成長国内会議 2019年10月30日招待有り
スパッタ・アニール法によるAlN転位密度の低減技術

上杉謙次郎, 三宅秀人

日本学術振興会「結晶加工と評価技術」第145委員会第163回研究会 2019年5月8日招待有り
Threading Dislocation Reduction of Sputter-Deposited AlN Templates for Deep-Ultraviolet Light-Emitting Device Applications

Kenjiro Uesugi, Yusuke Hayashi, Kanako Shojiki, Hideto Miyake

The 7th International Conference on Light-Emitting Devices and Their Industrial Applications (LEDIA2019) 2019年4月24日招待有り
深紫外発光素子応用に向けたスパッタ成膜AlNテンプレートの転位密度低減

上杉謙次郎, 林侑介, 正直花奈子, 永松謙太郎, 三宅秀人

第66回応用物理学会春季学術講演会 2019年3月11日招待有り
Reduction of threading dislocation density and suppression of cracking for sputter-deposited high-temperature annealed AlN films

Kenjiro Uesugi, Yusuke Hayashi, Kanako Shojiki, Kentaro Nagamatsu, Harumasa Yoshida, Hideto Miyake

3rd International Workshop on UV Materials and Devices (IWUMD2018) 2018年12月10日招待有り

共同研究・競争的資金等の研究課題

高品質AlNテンプレートを用いた220 nm帯深紫外LEDの開発

国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構官民による若手研究者発掘支援事業共同研究フェーズ (環境・エネルギー分野) 2022年3月 - 2024年3月

上杉謙次郎
局所電流注入による窒化物半導体の発光効率分布可視化手法の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究 2021年4月 - 2024年3月

上杉謙次郎
高品質窒化物半導体エピタキシャル成長技術の事業化検証

国立研究開発法人科学技術振興機構研究成果展開事業大学発新産業創出プログラム社会還元加速プログラム (SCORE) 大学推進型 (拠点都市環境整備型) 2021年11月 - 2022年3月

上杉謙次郎

産業財産権

特許6989660 半導体装置及びその製造方法

田島純平, 彦坂年輝, 上杉謙次郎, 木村重哉, 蔵口雅彦, 布上真也
特願2021-196741 光学装置及び光学装置の製造方法

三宅秀人, 上杉謙次郎, 久保雅敬, 窪谷茂幸
特許6951311 半導体装置および半導体装置の製造方法

田島純平, 彦坂年輝, 上杉謙次郎, 蔵口雅彦, 布上真也
特願2021-147192 半導体発光デバイス、半導体発光デバイスを作製する方法、コンタクト構造

上杉謙次郎, 三宅秀人, 中村孝夫
特願2021-147191 ＩＩＩ族窒化物発光デバイス、ＩＩＩ族窒化物エピタキシャルウエハ、ＩＩＩ族窒化物発光デバイスを作製する方法

上杉謙次郎, 三宅秀人, 中村孝夫
特許6883007 窒化物半導体装置

上杉謙次郎, 木村重哉, 彦坂年輝
特許6850383 半導体基板及び半導体装置

加藤大望, 吉田学史, 田島純平, 上杉謙次郎, 彦坂年輝, 湯元美樹, 布上真也, 蔵口雅彦
特開2020-139222 窒化物半導体基板の製造方法、窒化物半導体基板及び光半導体デバイス

林侑介, 三宅秀人, 上杉謙次郎
特許6734241 半導体装置及びその製造方法

田島純平, 彦坂年輝, 上杉謙次郎, 木村重哉, 蔵口雅彦, 布上真也
特許6704699 半導体発光素子およびその製造方法

朝羽俊介, 木村重哉, 伊藤俊秀, 大野浩志, 田島純平, 上杉謙次郎, 布上真也
特許6692334 半導体基板及び半導体装置

加藤大望, 吉田学史, 田島純平, 上杉謙次郎, 彦坂年輝, 湯元美樹, 布上真也, 蔵口雅彦
特許6685890 半導体装置およびその製造方法

上杉謙次郎, 彦坂年輝, 布上真也
特開2020-061473 窒化物半導体の製造方法、窒化物半導体、及び発光素子

上杉謙次郎, 三宅秀人
特許6674754 発光装置

田島純平, 加藤大望, 上杉謙次郎, 布上真也
特許6666305 半導体装置およびその製造方法

上杉謙次郎, 木村重哉, 蔵口雅彦
特開2020-037507 窒化物半導体基板の製造方法および窒化物半導体基板

上杉謙次郎, 三宅秀人
特許6629252 半導体装置の製造方法

上杉謙次郎, 新留彩, 加藤大望, 蔵口雅彦, 布上真也
特許6462274 半導体発光素子

田島純平, 大野浩志, 伊藤俊秀, 上杉謙次郎, 布上真也
特許6351520 半導体発光素子

田島純平, 大野浩志, 伊藤俊秀, 上杉謙次郎, 布上真也
特開2017-143139 半導体装置およびその製造方法

菅原秀人, 彦坂年輝, 上杉謙次郎

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上杉謙次郎

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受賞

論文

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講演・口頭発表等

共同研究・競争的資金等の研究課題

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