上杉謙次郎 (Kenjiro Uesugi) - マイポータル

基本情報

High‐Quality AlN Template Prepared by Face‐to‐Face Annealing of Sputtered AlN on Sapphire

Kanako Shojiki, Kenjiro Uesugi, Shigeyuki Kuboya, Takafumi Inamori, Shin Kawabata, Hideto Miyake

physica status solidi (b) 2000352 - 2000352 2020年11月13日査読有り
Low dislocation density AlN on sapphire prepared by double sputtering and annealing

Ding Wang, Kenjiro Uesugi, Shiyu Xiao, Kenji Norimatsu, Hideto Miyake

Applied Physics Express 13(9) 095501 - 095501 2020年9月1日査読有り
Crystalline quality improvement of face-to-face annealed MOVPE-grown AlN on vicinal sapphire substrate with sputtered nucleation layer

Shigeyuki Kuboya, Kenjiro Uesugi, Kanako Shojiki, Yuta Tezen, Kenji Norimatsu, Hideto Miyake

Journal of Crystal Growth 545 125722 - 125722 2020年9月査読有り
Annealing behaviors of vacancy-type defects in AlN deposited by radio-frequency sputtering and metalorganic vapor phase epitaxy studied using monoenergetic positron beams

Akira Uedono, Kanako Shojiki, Kenjiro Uesugi, Shigefusa F. Chichibu, Shoji Ishibashi, Marcel Dickmann, Werner Egger, Christoph Hugenschmidt, Hideto Miyake

Journal of Applied Physics 128(8) 085704 - 085704 2020年8月28日査読有り
Suppression of dislocation-induced spiral hillocks in MOVPE-grown AlGaN on face-to-face annealed sputter-deposited AlN template

Kenjiro Uesugi, Kanako Shojiki, Yuta Tezen, Yusuke Hayashi, Hideto Miyake

Applied Physics Letters 116(6) 062101 - 062101 2020年2月10日査読有り

深紫外LED応用に向けた低転位密度AlNの作製

上杉謙次郎, 王丁, 正直花奈子, 窪谷茂幸, 三宅秀人

日本結晶成長学会誌 47(3) 02-1 - 02-10 2020年10月査読有り招待有り

低転位密度AlNテンプレートを用いた深紫外LEDの開発

上杉謙次郎, 王丁, 正直花奈子, 窪谷茂幸, 三宅秀人

第12回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会 2020年7月31日招待有り
低転位密度AlN膜の作製とそのテンプレート上AlGaN成長

上杉謙次郎, 王丁, 三宅秀人

日本学術振興会「結晶成長の科学と技術」第161委員会第114回研究会 2020年5月29日招待有り
スパッタ堆積AlNの高温固相成長とその基板上へのAlGaN成長

三宅秀人, 上杉謙次郎, 肖世玉, 正直花奈子

第48回結晶成長国内会議 2019年10月30日招待有り
スパッタ・アニール法によるAlN転位密度の低減技術

上杉謙次郎, 三宅秀人

日本学術振興会「結晶加工と評価技術」第145委員会第163回研究会 2019年5月8日招待有り
Threading Dislocation Reduction of Sputter-Deposited AlN Templates for Deep-Ultraviolet Light-Emitting Device Applications

Kenjiro Uesugi, Yusuke Hayashi, Kanako Shojiki, Hideto Miyake

The 7th International Conference on Light-Emitting Devices and Their Industrial Applications (LEDIA2019) 2019年4月24日招待有り