特許権 半導体装置の製造方法 株式会社東芝 上杉謙次郎, 新留彩, 加藤大望, 蔵口雅彦, 布上真也 出願番号 特願2017-017048 出願日 2017年2月1日 公開番号 特開2018-125440 公開日 2018年8月9日 特許番号/登録番号 特許6629252 登録日 2019年12月13日 発行日 2020年1月15日
