2015年9月 電気特性の測定・評価とデータ解釈 若松 孝 担当区分 分担執筆 担当範囲 第4章抵抗率/導電率の各種評価事例 第5節四探針法による導電性薄膜のシート抵抗測定,pp.221-225 出版者・発行元 技術情報協会