2016年3月 混合粉体ターゲットを用いたAZOのスパッタリング成膜 2016年第63回応用物理学会春季学術講演会（東京工業大学大岡山キャンパス） 大島多美子, 川崎仁晴, 柳生義人, 猪原武士, 須田義昭 記述言語 日本語 会議種別 口頭発表（一般）
