2014年11月 管型熱CVD反応器内でのTiN薄膜生成に及ぼす管直径の影響に関する研究 熱工学コンファレンス 大眉貴星, 羽鳥祐耶, 田之上健一郎, 西村龍夫 記述言語 日本語 会議種別 口頭発表（一般） 主催者 日本機械学会 開催地 東京
